微纳电子技术期刊
出版文献量(篇)
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微纳电子技术

Micronanoelectronic Technology
曾用名: 半导体情报(1964-2001)

AJSACSTPCD

影响因子 0.4364
《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。 创刊4年以来,汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体,通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向,为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成... 更多
主办单位:
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉:
俄罗斯《AJ》收录  美国《剑桥科学文摘》收录  英国《SA》,INSPEC数据库收录 
ISSN:
1671-4776
CN:
13-1314/TN
出版周期:
月刊
邮编:
050002
地址:
石家庄市179信箱46分箱
出版文献量(篇)
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  • 作者: 张邦维
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年4期
    页码:  165-169,174
    摘要:
  • 作者: WANG Sen 王森 苏发院 蔡理
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年4期
    页码:  170-174
    摘要: 简要介绍了量子细胞自动机这一新型纳电子器件,重点综述了量子细胞自动机系统的自顶向下和自底向上的两种设计方法,并比较了各自的优缺点,提出一种综合两种设计方法的设计思想.
  • 作者: 史党院 蔡理 邵一丹
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年4期
    页码:  175-177,189
    摘要: 阐述了纳米线和纳米管电子器件的研究状况,对两种SET/CMOS基本混合器件的结构和应用以及仿真实现方法进行了论述.总结了SET/CMOS混合器件的特点.对纳米电子器件的发展进行了展望.
  • 作者: 宋秀芹 徐彬 阮北 霍莉
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年4期
    页码:  178-181
    摘要: 采用溶胶-凝胶法制备了硬脂酸表面修饰的TiO2纳米微粒,且制得的纳米粒子能够有效地阻止粒子的长大和相互间的团聚,可稳定地分散在多种有机溶剂中,并利用红外谱图(FT-IR)、扫描量热(DSC)...
  • 作者: 周甫方 黄远明
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年4期
    页码:  182-185,194
    摘要: 用扫描电镜(SEM)对厚度不同的多孔硅膜的微结构进行了研究.对于23 μm厚的多孔硅膜,其横截面微结构好似海底生长的海藻;而对于6μm厚的多孔硅膜,其表面微结构则像龟壳上的裂纹.通过对在不同...
  • 作者: 刘英斌 杨红伟
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年4期
    页码:  186-189
    摘要: 采用低压MOCVD技术在蓝宝石和SiC衬底上生长了本征GaN和AlGaN/GaN HEMT结构材料.生长过程中采用了EpiTUNE Ⅱ在位监测技术,对材料生长工艺进行了模型分析以及优化控制....
  • 作者: 刘肃 郁红
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年4期
    页码:  190-194
    摘要: 给出了一种能同时测量风速和风向的基于CMOS工艺的二维硅风速传感器的工作原理、结构及其热学模型.针对恒温差和恒定功率两种控制方式,建立各自的一维传感器热学模型,并采用有限元分析工具ANSYS...
  • 作者: 唐炜斌 徐利梅 黄大贵
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年4期
    页码:  195-199
    摘要: 介绍了一种自由梁微机械滤波器的组成及工作原理,采用连续系统的方法来分析该微机械滤波器的谐振器,推导了其弯曲振动模态下的谐振频率公式--Euler-Bernoulli方程.然后根据MEMS材料...
  • 作者:
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年4期
    页码:  199,217-218
    摘要:
  • 作者: 蒋欢妹 贺全国
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年4期
    页码:  200-205,216
    摘要: 引进与平面图案变形扭曲大小相称的角度参数θ,提出了一种对软光刻技术中PDMS印章的角度平面扭曲进行定量评价的方法.聚二甲基硅氧烷(PDMS)平面印章的单个图案的平均扭曲角(绝对扭曲角θ1)和...
  • 作者: 张伟
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年4期
    页码:  206-210
    摘要: 介绍了硅片的研磨过程和研磨液的作用,对国内主流研磨液进行了简单的介绍,分析了它们的优缺点.对研磨液中活性剂的机理进行了深入研究、解释了活性剂的分子结构对其性质的影响,提出只有从分子结构入手选...
  • 作者: 刘彬 刘静 吴振宇 杨银堂 汪家友
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年4期
    页码:  211-216
    摘要: Cu/低k互连的电迁移失效与互连材料、工艺、结构和测试条件都有着密切的联系.论述了近年来铜互连电迁移可靠性的研究进展,讨论了电迁移的基本原理、失效现象及其相关机制和微效应以及主导失效的机制-...
  • 作者:
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年4期
    页码:  219
    摘要:
  • 作者:
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年4期
    页码:  220
    摘要:
  • 作者:
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年4期
    页码:  221
    摘要:

微纳电子技术基本信息

刊名 微纳电子技术 主编 李和委
曾用名 半导体情报(1964-2001)
主办单位 中国电子科技集团公司第十三研究所  主管单位 中华人民共工业和信息化部
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1671-4776 CN 13-1314/TN
邮编 050002 电子邮箱 wndz@vip.sina.com
电话 0311-87091487 网址 www.wndz.org
地址 石家庄市179信箱46分箱

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2. 美国《剑桥科学文摘》收录
3. 英国《SA》,INSPEC数据库收录

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