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微纳电子技术2010年第10期出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
16974
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
16974
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1. 石墨烯基电子学研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年10期页码:摘要： 综述了石墨烯晶体的能带结构和独特的电子性质,如双极性电场效应、单双层石墨烯效应、衬底效应、石墨烯纳米带(GNR)带隙等特殊效应的研究现状.介绍了石墨剥落技术、外延生长和化学气相淀积(CVD)...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年10期页码:摘要： 太赫兹波是振荡频率在100 GHz～10 THz范围的电磁波,利用共振隧穿器件高频高速的特点,适宜制作此波段的振荡源器件.指出与其他类型的太赫兹源器件相比,共振隧穿型太赫兹波源器件具有体积小...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年10期页码:摘要： 通过改变AlN形核层的生长温度分别在Si(111)衬底上生长了两个GaN样品,并对GaN外延材料表面的六角形缺陷进行了分析研究.通过显微镜和扫描电镜(SEM)观测发现,AlN形核层在高温下生...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年10期页码:摘要： 采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)法在Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)基片上淀积了Bi3.5Yb0.5Ti3O12(BYT)铁电薄膜,研究了在不同退火温度下形成的BYT薄膜的微观...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年10期页码:摘要： 在自制的立式氢化物气相外延(HVPE)系统炉中,一定温度下通入一定流量的NH3使GaAs(111)衬底氮化一层GaN薄膜,以防止高温外延生长GaN时GaAs分解,进而提高了之后GaN外延生长...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年10期页码:摘要： 根据MEMS的驱动方式对MEMS进行了分类,对电磁MEMS的构造及其特点进行了较为详细的介绍.针对电磁MEMS的流体控制工作原理与结构特点,总结了电磁MEMS在流体驱动、流体混合以及流体消涡...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年10期页码:摘要： 在采用Si-玻璃阳极键合技术制备微惯性传感器的过程中,实验发现键合圆片中心区域键合失效.通过对键合机理和工艺过程进行分析,认为湿法腐蚀工艺引入钾离子(K+)污染是造成键合失效的主要原因,也可...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年10期页码:摘要： 设计并制作了多种二维变形方波微混合器,通过荧光观测及标准偏差数值分析,在低Re数(Re≤13.33)时,考察拐角和单元长度对混合器混合效果的影响.结果表明,集成拐角的混合器存在一个临界Re值...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年10期页码:摘要： 苯并环丁烯(BCB)键合技术通过光刻工艺可以直接实现图形化,相对于其他工艺途径具有工艺简单、容易实现图形化的优点.选用4000系列BCB材料进行MEMS传感器的粘接键合工艺试验,解决了圆片级...
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10. 干涉空间相位光刻对准方法研究刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年10期页码:摘要： 介绍了一种适合高分辨力接近/接触式光刻的新型纳米级光刻对准方法.简要阐述了该对准方法的基本原理,探讨了应用该对准方法的光学结构设计,提出了照明光路与干涉条纹捕获光路的垂直设计,采用单色非曝光...
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11. 锥形光纤与楔形光纤的耦合刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年10期页码:摘要： 用实验方法测量了楔形光纤与锥形光纤的耦合效率,作出耦合效率随楔形光纤的半楔角及锥形光纤半圆锥角的变化曲线.从实验结果可以看出,楔形与锥形光纤的耦合效率随半楔角增加而增大.当半楔角由15.0°...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年10期页码:摘要： 通过一系列实验研究了有机和无机pH值调节剂对Si片抛光速率的影响及其影响机理.使用有机碱调节抛光液的pH值,随着pH值的增大,Si片的CMP速率先增大后减小,pH值为10.85时,Si片的抛...
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13. 半导体工艺线CAM及SPC的应用刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年10期页码:摘要： 探讨了在多品种小批量半导体工艺生产线上开发应用CAM技术及实现SPC控制的方法.作者及同事开发了适用于所在工艺线特点的CAM软件系统程序--WI系统,用于工艺的指导和记录、生产的安排和监控以...
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
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| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
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