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微纳电子技术2017年第5期出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
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总被引数（次）
16974
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
16974
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年5期页码:摘要： 制备了一种基于高介电常数材料氧化铪(HfO2)薄膜作为核心绝缘介质层的金属-金属(MTM)反熔丝单元结构.基于此结构,使用钛(Ti)和氮化钛(TiN)分别作为MTM反熔丝结构中的过渡层和阻挡...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年5期页码:摘要： 采用有源忆阻器构建了三阶忆阻振荡电路单元.将该忆阻振荡电路单元作为构建忆阻非线性网络的元胞,通过与周围邻近元胞的耦合,实现了具有反应扩散特性的非线性忆阻电路网络.通过MATLAB实验仿真观察...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年5期页码:摘要： 在基于绝缘体上硅(SOI)材料的IC器件及MEMS器件研发过程中,薄膜应力引起的晶圆变形、膜层脱落等工艺问题,制约了其研发进度和器件性能.对键合SOI材料整体残余应力展开研究,推出埋氧层、背...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年5期页码:摘要： 针对具有微纳米复合结构的微通道,对流动沸腾换热的沸腾起始点、换热系数、临界热流密度、流动不稳定性等问题的最新研究进展进行了综述,总结出近些年实验研究中所采用的实验方法,包括在微通道表面制作多...
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5. 高Q平面集成光波导谐振腔刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年5期页码:摘要： 提出了一种高品质因数的氧化硅平面集成光波导谐振腔的设计与加工方案.利用Matlab与BeamPROP软件对回音壁模式(WGM)谐振腔结构模型进行了仿真分析,深入讨论了耦合状态、腔长与谐振腔品...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年5期页码:摘要： 为了减小加工误差对高频滤波器性能的影响,设计并加工了一款基于新型谐振柱的高频波导滤波器.首先设计了一个两腔波导滤波器,然后通过给腔内的方形脊两侧加载梯形凸台完成了滤波器的设计.运用Ansof...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年5期页码:摘要： 基于硅的压阻效应,利用微电子机械系统(MEMS)技术研制了一种汽车碰撞试验用低阻尼、宽频响的加速度传感器.为了满足小体积和高性能的要求,传感器采用了L型梁-质量块结构;并设计了一种全方位抗过...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年5期页码:摘要： 开展了一种基于MEMS工艺的微波/毫米波薄膜负载电阻的结构设计和工艺实现,该负载电阻选择TaN作为薄膜材料,高阻硅为基底材料,仿真设计并优化了三种新型结构,给出了一套MEMS TaN薄膜负载...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年5期页码:摘要： 封装是高量程微机械加速度传感器高可靠性的重要保障,而灌封工艺是高量程微机械加速度传感器封装流程中一个非常重要的环节,对实现加速度传感器产业化具有重要的影响.根据一种自制的、量程为XX的压阻式...
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10. 紫外纳米压印技术的研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年5期页码:摘要： 传统的紫外纳米压印(UV-NIL)虽然不受曝光波长的限制,但是存在气泡残留、压印不均匀、模具寿命短等问题.为解决这些问题产生了各种新型UV-NIL工艺,针对这些工艺阐述了紫外纳米压印技术工艺...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年5期页码:摘要： 采用磁控溅射法制备低温度系数CrSi薄膜电阻,研究了制备过程中溅射条件对CrSi薄膜电阻温度系数的影响,包括溅射功率、衬底加热温度、工艺气体体积流量和反应气体体积流量.这些条件通过改变CrS...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年5期页码:摘要： 干法刻蚀是压阻式加速度传感器制备中的关键工艺,金属掩膜层的图形化对刻蚀结果尤为重要.金属掩膜层图形化的效果影响着压敏电阻条的刻蚀效果,进而影响传感器性能.利用磁控溅射在Si和SiC衬底上分别...
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 文摘杂志(俄) |
| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
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