微纳电子技术期刊
出版文献量(篇)
3266
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微纳电子技术

Micronanoelectronic Technology
曾用名: 半导体情报(1964-2001)

AJSACSTPCD

影响因子 0.4364
《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。 创刊4年以来,汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体,通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向,为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成... 更多
主办单位:
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉:
俄罗斯《AJ》收录  美国《剑桥科学文摘》收录  英国《SA》,INSPEC数据库收录 
ISSN:
1671-4776
CN:
13-1314/TN
出版周期:
月刊
邮编:
050002
地址:
石家庄市179信箱46分箱
出版文献量(篇)
3266
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  • 作者: 侯影 傅剑宇 刘瑞文 刘超 吕文龙 张强 王玮冰 薛惠琼 魏德波
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年9期
    页码:  617-624
    摘要: 灵敏度是非制冷热敏二极管型红外焦平面阵列(IRFPA)的一项重要性能指标.二极管结构的电压温度系数(VTC)对灵敏度有很大的影响.分析了二极管结构的设计参数和工艺参数对其电压温度系数的影响,...
  • 作者: 刘新宇 杨成樾 汤益丹 田晓丽 白云 董升旭 陈宏
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年9期
    页码:  625-629,670
    摘要: 为探究退火温度对Mo/4H-SiC肖特基接触势垒不均匀程度的影响,对在不同退火温度下形成的Mo/4H-SiC肖特基接触进行了不同测试温度下的电流-电压(I-V)及电容-电压(C-V)测试,运...
  • 作者: 刘伟景 姜慧娜 宋小军 李高芳 石张军 赵婉婉 黄宁
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年9期
    页码:  630-634
    摘要: 通过水热法制备3种尺寸的氧化铜(CuO)片状纳米结构,采用介电泳方法将所制备纳米结构定位到预先设计的Ti/Au电极上,以此为基础来构建湿度传感器并进行传感特性测试.实验结果表明:氧化铜纳米结...
  • 作者: 李奇思 李旺旺 李鑫 杨娇燕 林立娜 梁庭 熊继军 赵丹 雷程
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年9期
    页码:  635-641
    摘要: 针对绝缘体上硅(SOI)压力传感器平模结构下压敏电阻所在区域应力跨度过大而导致的线性度降低问题,采用了岛膜结构改善敏感膜片表面的应力分布,使压敏电阻能够完全布置在应力集中区,从而提高传感器的...
  • 作者: 何芳 刘国君 刘建芳 李新波 王记波 马祥
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年9期
    页码:  642-651
    摘要: 声表面波(SAW)分选技术因其无接触性、生物相容性好等特点,在生物医学、诊断学等领域有着广阔的应用前景.概述了声表面波分选芯片的基本结构组成、叉指换能器(IDT)的基本结构及工作原理,分析了...
  • 作者: 张斌珍 徐永庆 段俊萍 王雄师 黄成远
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年9期
    页码:  652-659
    摘要: 射频微电子机械系统(RF MEMS)开关是射频电子系统中的关键器件,首先简要介绍了RF MEMS开关的结构特点及分类方式,综述了RF MEMS开关的发展现状,列举了国内著名科研机构具有代表性...
  • 作者: 张洁 胡延东
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年9期
    页码:  660-670
    摘要: 主要通过数值模拟对比研究流率比和雷诺数的变化对Circle,Spiral和Tesla三种平面被动式微混合器混合效率的影响.通过混合指数、阻力系数及涡量等分析三种微混合器间的差异,发现Tesl...
  • 作者: 何易德 吕曈 吴文渊 李以贵 王欢 蔡金东
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年9期
    页码:  671-676,682
    摘要: 为了降低传统采血对人体的疼痛感和损伤,制备了采血微针阵列结构.该微针阵列结构是采用日本立命馆大学的同步辐射光源AURORA进行两次移动X射线光刻,在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)光刻胶上得到与...
  • 作者: 周丽 周哲海 李劲劲 王晓玲 王雪深 邢海斌 钟青
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年9期
    页码:  677-682
    摘要: 基于理论设计了一种面内旋转对称的新型5×5分束达曼光栅,研究并优化了光栅制作中曝光、显影及深刻蚀等关键工艺参数.采用接触式曝光和感应耦合等离子体(ICP)刻蚀技术,在石英基底上制作出达曼光栅...
  • 作者: 刘俊 唐军 王磊 赵彬彬 赵锐 郭浩
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年9期
    页码:  683-687,699
    摘要: 光探测磁共振(ODMR)信号作为氮空位(NV)色心磁力计进行磁检测的主要手段,其主要受到微波功率强度和激光功率强度的影响.对金刚石NV色心磁力计展开研究,根据其检测原理,探究其极限灵敏度优化...
  • 作者: 吕东喜 张远明 张鑫明 朱雪岩 赵熹 郭拉凤
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年9期
    页码:  688-693
    摘要: 以商业纳米银颗粒墨水为打印材料,以钠钙玻璃为衬底材料,采用气溶胶喷墨打印工艺在衬底上打印形成银线.在搭建的气溶胶喷墨打印平台上,通过改变工艺参数探究不同工艺参数对银线线宽的影响规律.通过激光...
  • 作者: 张伟才 杨洪星 杨静 王雄龙 韩焕鹏
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年9期
    页码:  694-699
    摘要: 对圆片级封装用玻璃通孔(TGV)晶片的减薄加工工艺进行了研究并最终确定出工艺路线.该减薄加工工艺主要包括机械研磨及化学机械抛光(CMP)过程.通过机械研磨,玻璃通孔晶片的残余玻璃层及硅层得到...

微纳电子技术基本信息

刊名 微纳电子技术 主编 李和委
曾用名 半导体情报(1964-2001)
主办单位 中国电子科技集团公司第十三研究所  主管单位 中华人民共工业和信息化部
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1671-4776 CN 13-1314/TN
邮编 050002 电子邮箱 wndz@vip.sina.com
电话 0311-87091487 网址 www.wndz.org
地址 石家庄市179信箱46分箱

微纳电子技术评价信息

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1. 俄罗斯《AJ》收录
2. 美国《剑桥科学文摘》收录
3. 英国《SA》,INSPEC数据库收录

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