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微细加工技术2008年第4期出版文献
出版文献量（篇）
672
总下载数（次）
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微细加工技术
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Microfabrication Technology
《微细加工技术》创刊于1983年，是国家科委和国家新闻出版署批准，国内外公开发行的中央级重要科技期刊。是国家一级检索刊物，已连续9年被美国工程信息公司Ei数据库收录，是《中国期刊网》、《中国学术期刊（光盘版）》、《中国学术期刊综合评价数据库》全文收录用刊，是《中国科学引文数据库》来源期刊。
主办单位：
中国电子科技集团公司第48研究所
期刊荣誉：
国家一级检索刊物用刊
美国工程信息公司Ei数据库收录
ISSN：
1003-8213
CN：
43-1140/TN
出版周期：
双月刊
邮编：
地址：
出版文献量（篇）
672
总下载数（次）
2
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1. 无掩模光刻技术研究刊名： 微细加工技术发表期刊： 2008年4期页码:摘要： 介绍了无掩模光刻技术的现状和存在的问题,并对几种常见的无掩模光刻技术进行了详细的对比分析.研究表明,扫描电子束光刻具有极高的分辨率,但是生产效率较低;波带片阵列光刻技术已经在理论和实验上取得...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2008年4期页码:摘要： 作为一种非化学放大的无机负性电子束光刺抗蚀剂,HSQ(hydrogen silsesquioxane)具有极高的分辨率(约5 nm),由于灵敏度较低,限制了其在微纳米加工方面的应用.从化学结...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2008年4期页码:摘要： 介绍了一种新的等离子体离子注入在不锈钢表面改性上的应用.将高压脉冲和射频脉冲直接耦合到工件上,不需外部等离子体源,利用工件自身加射频产生等离子体,随后施加高压对不锈钢表面进行了注氮处理.XP...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2008年4期页码:摘要： 为了使CMP抛光精度更为精确,根据光学干涉原理设计了单点光学终点检测装置,给出了整套检测系统的简图和处理流程.在理想条件下,仿真单点光学检测的相干相位及反射率迹线,得出反射率迹线与抛光掉的透...
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8. 热压印技术制作纳米光栅刊名： 微细加工技术发表期刊： 2008年4期页码:摘要： 通过分析脱模过程的摩擦力,讨论了模具表面处理工艺与压模质量的关系,给出了降低脱膜过程摩擦力的工艺方法.实验结果表明,用类聚四氟乙烯膜作为脱模剂能大大减小模具表面与聚合物表面的摩擦力.研究了压...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2008年4期页码:摘要： 金属细管的微细切割,目前使用最多的是YAG激光器.但随着光纤激光器的发展,光纤激光器也逐渐使用到金属细管的微细切割上.首先使用光纤激光器对钴铬合金细管进行切割,通过改变气体、气压、脉宽以及切...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2008年4期页码:摘要： 利用真空热蒸发法在玻璃基片上制备SnS薄膜,在50℃～200℃之间,研究了基片温度对SnS薄膜的结构、形貌和光电性能的影响.结果表明,随着基片温度的升高,SnS薄膜的结晶度越好,薄膜变得更光...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2008年4期页码:摘要： 利用直流脉冲磁控溅射方法在玻璃衬底上制备太阳电池背接触Mo薄膜.通过台阶仪、四探针电阻仪、X射线衍射仪、紫外-可见分光光度计等研究了Ar气压强对薄膜结构及光电性能的影响,结果表明,在低的Ar...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2008年4期页码:摘要： 采用石英钟罩式微波等离子体化学气相沉积(MWPCVD)设备制备了大面积金刚石薄膜,结合X射线衍射谱(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和激光喇曼(Raman)谱等实验手段,较系统地研究了衬底...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2008年4期页码:摘要： 以提高微机械陀螺性能为目的,设计了一种新颖的音又振动式微机械陀螺.该陀螺的特征在于:驱动和检测模态都是面内的,主要的空气阻尼是滑膜阻尼,使系统具有较低的能量损失和较高的Q值;对称的音叉式结构...
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14. 二维纳米胶体球膜版的制备研究刊名： 微细加工技术发表期刊： 2008年4期页码:摘要： 二维纳米胶体球膜版是利用纳米球刻蚀法制备纳米颗粒阵列的前提条件.介绍了一种利用自组装法在基片上直接制备二维聚苯乙烯纳米球膜版的新工艺,讨论了影响获得大面积、高度有序膜版的主要因素,即基片的倾...
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15. 绿色二氧化碳超临界清洗设备刊名： 微细加工技术发表期刊： 2008年4期页码:摘要： 半导体IC清洗技术由于水溶液的表面张力大而无法进入硅片上器件的狭缝与电路线条间隙中进行清洗,同时不易干燥,且干燥时会造成二次污染,从而使得整个工艺耗水量大且清洗效果不佳.以超临界流体为媒体的...
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16. MEMS热敏微流量传感器研究刊名： 微细加工技术发表期刊： 2008年4期页码:摘要： 采用标准MEMS工艺,设计并制造了一种Pt薄膜热式微流量传感器,并且以水和甲醇为工质,对该热式微流量传感器的工作特性进行了实验研究和数值模拟.结果表明,在50 μL/min～300μL/mi...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2008年4期页码:摘要： 为了获得性能优良的电化学沉积合金薄膜,需要精度非常高的合金薄膜铜衬底.以铜衬底表面粗糙度Ra和Rt为评价目标,探讨了基于田口方法的铜衬底抛光工艺参数优化设计方法.在给定工件材料和磨料(种类和...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2008年4期页码:摘要： 针对微拉伸测试系统支撑梁因塑性变形带来的误差,采用UV-LIGA技术制备出S型支撑弹簧来代替刚性梁,这样即可测量大变形薄膜的力学性能.实验结果表明,用UV-LIGA工艺制备的Ni金属S形弹簧...
微细加工技术基本信息
| 刊名 | 微细加工技术 | 主编 | |
| 曾用名 | |||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第48研究所 | 主管单位 | |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1003-8213 | CN | 43-1140/TN |
| 邮编 | 电子邮箱 | ||
| 电话 | 网址 | ||
| 地址 | 湖南省长沙市 |
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