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真空科学与技术学报2002年第2期出版文献
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
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真空科学与技术学报
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本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
出版文献量（篇）
4084
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 在真空中用蒸发沉积的方法制备了埋藏有金属Ag纳米微粒的稀土氧化物复合介质薄膜Ag-Nd2O3.通过对这种薄膜的透射电子显微镜观察和光吸收实验研究,发现在相同Nd2O3的薄膜上沉积数量和大小不...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 对Gray微束装置的定位辐射准确度进行了全面的实验研究.微束定位辐射的能力表现在辐射点的准确度高低和离子分布区域的大小二个方面.辐射点的准确度取决于样品架的回访精度和图像处理系统的样品识别准...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 用HC1蒸气对真空蒸发沉积的酞菁氧钛薄膜进行了处理,并用UV-Vis吸收谱、X射线光电子能谱(XPS)和X射线衍射(XRD)进行了分析.吸收谱结果表明HC1与酞菁氧钛蒸气作用后产生一个新的吸...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 采用逐次近似的方法,在平面曲轴系统中,对于扇形均匀磁场分析器的飞行时间特性进行了直到二阶的理论研究,推导出了扇形磁场分析器中电子轨迹精确到二阶的理论表达式,得到了飞行时间特性的一阶和二阶传递...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 采用激光脉冲沉积法在钛酸锶SrTiO3(001)斜切基片上外延生长YBa2Cu3O7-δ薄膜,在大气环境下采用扫描探针显微镜对YBa2Cu3O7-δ薄膜的表面纳米形貌进行直接观察.发现YBa...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 利用扫描隧道显微镜和超高真空实验装置系统进行了Si(100)表面生长Si,Ge的实验研究.分析了所生成表面的形貌、结构等物理性质.研究表明:Si在Si(100)表面的同质生长可以形成纳米结构...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 对各向异性胶体基底表面的分枝状金原子凝聚体的生长机制进行了研究.沉积在无规杂质区域的熔融玻璃表面的金原子先形成网状结构的薄膜,然后逐渐演变成分枝状凝聚体.根据这一实验结果,建立了各向异性的团...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 螺旋波等离子体是一种高密度的低温、低气压等离子体.这种等离子体在超大规模集成电路工艺、微机电系统加工、新型薄膜材料及纳米材料制备、材料表面改性以及气体离子激光器等方面具有广泛的应用前景.本文...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 采用二维数值模拟方法,对新型槽形彩色等离子体平板显示器放电单元的结构形状进行了设计.研究了在不同形状结构情况下,该新型槽形彩色等离子体平板显示器放电单元的放电特性以及相关性质.分别给出了不同...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 用STM针尖对有机络合物电双稳薄膜材料施加强电场作用,可在材料表面产生纳米线度的导电几何图形.实验证明:对针尖本身的几何构形、施加在针尖上的脉冲幅度、周期和占空比都必须进行细致的选择.用Ag...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 采用自行研制的磁增强活性反应离子镀系统,在脉冲偏压条件下成功地合成了高品质立方氮化硼(c-BN)薄膜.用傅立叶变换红外谱(FTIR)分析沉积膜的相结构,用透射电镜(TEM)及高分辨率透射电镜...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 利用具有三级差分抽气系统的分子束质谱仪为检测手段,对N2,O2混合气体的线板式高压脉冲电晕放电等离子体阴极板区的正离子成分进行了诊断研究.实验结果表明:在放电反应室N2,O2混合气体压力13...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 在场发射显示器(FED)中使用消气剂,是维持FED内部真空度的最主要的手段,对延长FED的工作寿命起着重要作用.本文首先从抽气平衡方程推导得到了检验FED漏率是否合格的判别公式,并从此判别公...
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14. 退火温度对硅基溅射铜膜应力的影响刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 采用光学相移法,对Si基片上Cu膜应力随退火温度的变化进行了研究.研究表明:随退火温度的升高,Cu膜应力减小,200 ℃时平均应力减小为-0.261×108 Pa,且应力分布均匀,在选区范围...
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15. SiO2负载纳米Co催化剂的制备刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 以正硅酸乙酯和硝酸钴等为原料,利用溶胶-凝胶法合成了含钴物质均匀分散的SiO2凝胶.在适当的条件下利用微波等离子体还原,获得了结构比较疏松的SiO2载体材料,其上负载的金属钴颗粒具有较规则的...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 研究了真空退火对玻璃衬底上热蒸发沉积的LiF和CaF2薄膜的结晶性能的影响.X射线衍射分析结果表明,在420 ℃温度下,随着退火时间的增长,LiF薄膜的结晶状况明显改善;在460 ℃温度下,...
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17. 纳米ZnO薄膜制备及液态源掺杂刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 用真空蒸发法在玻璃和单晶硅片(100)上制备Zn薄膜,然后对Zn薄膜进行氧化、热处理获得纳米ZnO薄膜.对在硅片上制备的Zn薄膜一次性进行高温掺杂、氧化获得纳米ZnO∶P和ZnO∶B薄膜.研...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 研究了射频等离子体辅助分子束外延生长GaN晶膜中氮等离子体的发射光谱.用非接触式测量方法--光谱法测定了等离子体特性.讨论了分子束外延生长系统参数的变化与等离子体发光光谱变化之间的联系,薄膜...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 研究了坩埚材料、真空度和合金元素Al对真空感应熔炼CuCr25合金氧含量的影响.结果表明:使用碱性氧化物MgO坩埚制得的CuCr25合金的氧含量非常高,达到千分之几,同时可以引起Cr的偏析....
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20. 光电平板显示屏的实验研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 为克服场发射电子源在平板显示屏中存在的不稳定性和不均匀性问题,研制了以光电发射源替代场致发射源的光电平板显示屏.本文介绍了光电平板显示屏的结构,并对显示屏的组成部分进行了分析讨论.
真空科学与技术学报基本信息
| 刊名 | 真空科学与技术学报 | 主编 | 吴锦雷 |
| 曾用名 | 真空科学与技术 | ||
| 主办单位 | 中国真空学会 | 主管单位 | 中国科学技术协会 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1672-7126 | CN | 11-5177/TB |
| 邮编 | 100022 | 电子邮箱 | vst@chinesevacuum.com |
| 电话 | 010-58206280 | 网址 | |
| 地址 | 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室 |
真空科学与技术学报评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 化学文摘(美) |
| 2. | 中国科学引文数据库 |
| 3. | 日本科学技术振兴机构数据库(日) |
| 4. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
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