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真空科学与技术学报2004年第5期出版文献
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
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真空科学与技术学报
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本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
出版文献量（篇）
4084
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2004年5期页码:摘要： 利用射频反应磁控溅射在显微玻璃、单晶硅片、NaCl片和石英上沉积ZrO2薄膜.薄膜厚度80 nm～100 nm.利用X射线衍射仪、透射电子显微镜、X射线能谱仪、分光光度计和原子力显微镜研究了...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2004年5期页码:摘要： 研究了沉积在硅油表面Al薄膜的特征表面形貌(一类具有准周期特征的带状结构)及其形成过程.实验发现:沉积结束后,随着Al薄膜样品在真空室中放置时间Δt的增加,Al薄膜中首先出现带状且不均匀的物...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2004年5期页码:摘要： 利用中频交流磁控溅射技术制备了TiO2薄膜、Ag/TiO2复合薄膜和TiO2:MoO3复合薄膜,研究了TiO2薄膜的光生亲水性和防结雾特性,讨论Ag及MoO3对TiO2薄膜光生亲水性的影响....
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2004年5期页码:摘要： 在不同氮流量下,利用微波-ECR等离子体溅射沉积技术在45#钢基体上制备了ZrN薄膜.XRD、TEM分析结果表明:随着充入N2流量的改变,薄膜结构由单一的ZrN结构向ZrN和ZrNx复合结构...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2004年5期页码:摘要： 为了研究CaO的加入对MgO PDP介质保护膜晶面择优取向的影响,使用不同CaO含量的MgO+CaO膜料,在不同的基底温度和沉积速率下进行电子束蒸发沉积,并对形成的Mg1-xCaxO膜进行了...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2004年5期页码:摘要： 利用强流脉冲电子束(HCPEB)技术对碳素钢进行了表面改性处理.利用扫描电镜(SEM)和X射线衍射(XRD)对改性试样的表面性质进行了分析,结果表明:样品表面出现了"火山坑"状的凹坑,淬火态...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2004年5期页码:摘要： 利用直流反应磁控溅射以Al、N共掺杂的方法生长p-ZnO薄膜.ZnO薄膜沉积于具有不同衬底温度的玻璃或Si衬底上,N来自NH3与O2的生长气氛,Al来源于AlxZn1-x(x=0.08%)靶...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2004年5期页码:摘要： 通过改变制备NiO薄膜的氩气压和衬底材料,研究了NiO的结构、表面粗糙度对NiO/CoFe双层膜交换耦合场Hex的影响.实验表明完全自旋未补偿面与交换耦合场的产生没有直接联系,但交换耦合场H...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2004年5期页码:摘要： 利用对PV-10型压电阀定标实验,研究了中性束注入器Tank内补充气体的参数对离子源放电弧电流的影响,对比压电阀脉冲电源的脉宽和幅值,显示后者对Tank内补充气体量具有更显著的线性关系.据此...
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10. 真空蒸镀聚乙烯醇薄膜刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2004年5期页码:摘要： 采用真空蒸发沉积(蒸镀)聚乙烯醇薄膜,通过SEM和光学显微镜观察聚乙烯醇薄膜呈现典型的岛状形式并均匀分布于衬底表面,且以梯田状台阶式长大.衬底温度是影响PVA薄膜沉积速度的主要因素.红外光谱...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2004年5期页码:摘要： 本文利用脉冲真空弧源沉积技术在Cr17Ni14Cu4不锈钢和Si(100)基体上制备了类金刚石(DLC)薄膜,研究在不同基体偏压下,DLC薄膜的结构与性能.采用拉曼光谱和X射线光电子能谱(X...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2004年5期页码:摘要： 本文采用铸造合金靶材和离子束溅射(IBS)技术制备TbDy-Fe超磁致伸缩薄膜(GMFs),研究了不同溅射方位(α角)对冷基片成膜过程和薄膜性质的影响.结果表明,在给定的溅射角范围内,薄膜表...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2004年5期页码:摘要： 采用金属等离子体浸没离子注入与沉积技术在9Cr18轴承钢基体表面合成了类金刚石薄膜.研究了注入脉宽和工作气压对合成薄膜性能及化学组成的影响;通过激光Raman光谱、维氏硬度、针盘试验和电化学...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2004年5期页码:摘要： 通过醋酸铅、硝酸锆、钛酸丁酯分别制备独立稳定的前驱单体,采用Sol-Gel反提拉涂膜技术在基片Pt/Ti/SiO2/Si上制备PZT铁电薄膜.本文讨论了制备工艺对薄膜质量的影响,比较了在不同...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2004年5期页码:摘要： 使用CF4和CH4为源气体,利用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)法制备了掺氟非晶碳(a-C:F:H)薄膜,并在N2气氛中进行了不同温度的退火.用原子力显微镜(AFM)观察了薄...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2004年5期页码:摘要： 本文采用电子回旋共振微波等离子体化学气相沉积方法(ECR-CVD),以CH4和H2为气源、Fe3O4 纳米粒子为催化剂,未加电场,在多孔硅基底上制备出大面积取向生长碳纳米管.使用扫描电子显微...
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17. 三代微光器件的测试和评估技术研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2004年5期页码:摘要： 在已有的负电子亲和势(NEA)光电阴极特性评估技术的基础上,研制了三代微光器件的测试和评估系统工程样机,用于对三代微光器件的光谱响应等参数的测试和激活过程中的工艺信息监控,通过分析计算可获得...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2004年5期页码:摘要： 采用提拉真空干燥的方法制备出以石英玻璃为基板的ZnS/PVA纳米复合薄膜.ZnS/PVA纳米复合溶胶是通过直接混合法将ZnS纳米粒子与聚乙烯醇(PVA)高分子材料水溶液直接混合制备得到.Zn...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2004年5期页码:摘要： 石英和BK7玻璃是常用的光学材料和微系统材料.用Ar作为工作气体对石英和BK7玻璃及其掩模材料AZ1350的离子束刻蚀特性进行了研究,分析了离子能量、离子束流密度和离子束入射角等几种因素对刻...
真空科学与技术学报基本信息
| 刊名 | 真空科学与技术学报 | 主编 | 吴锦雷 |
| 曾用名 | 真空科学与技术 | ||
| 主办单位 | 中国真空学会 | 主管单位 | 中国科学技术协会 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1672-7126 | CN | 11-5177/TB |
| 邮编 | 100022 | 电子邮箱 | vst@chinesevacuum.com |
| 电话 | 010-58206280 | 网址 | |
| 地址 | 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室 |
真空科学与技术学报评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 化学文摘(美) |
| 2. | 中国科学引文数据库 |
| 3. | 日本科学技术振兴机构数据库(日) |
| 4. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
真空科学与技术学报统计分析
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