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真空科学与技术学报期刊
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名： 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
出版文献量（篇）
4084
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3
总被引数（次）
19905
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  • 1. a-SiCx:H p-i结的电致发光
    作者： 刘理天 姚永昭 岳瑞峰
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年4期
    页码:  259-262
    摘要： 在以ITO薄膜为正极的透明导电玻璃上,利用PECVD方法进行B掺杂制备出具有p-i结的a-SiCx:H薄膜,然后在其上溅Al作为负电极形成"三明治"器件结构,并对它的I-V特性和发光特性进行...
  • 2. 原子氧/紫外综合环境模拟实验与防护技术
    作者： 刘向鹏 多树旺 姜利祥 孙刚 李美栓 李金洪 童靖宇
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年4期
    页码:  263-267
    摘要： 北京卫星环境工程研究所研制的一台原子氧/紫外综合环境模拟设备.该设备采用了微波电子回旋共振和固体靶电荷交换中性化技术.可以产生通量密度为3×1015 cm2·s,能量5 eV的中性原子氧束流...
  • 3. 铜薄膜在100℃～400℃下氧化行为的微观表征
    作者： A.Pohlers 严学俭 张莉 曾志刚 朱国栋 沈淼
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年4期
    页码:  268-271
    摘要： 本文研究了在100℃～400℃下溅射制备的40nm铜薄膜的氧化行为.利用原子力显微镜(AFM)观察了铜薄膜氧化前期的微观形貌,并利用X射线衍射(XRD)和能量分散X射线谱(EDX)分析了其晶...
  • 4. CRT显示器件中超大角度偏转的理论研究
    作者： 孙远 张晓兵 李驰 王保平 苏星 雷威
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年4期
    页码:  272-276
    摘要： CRT具有颜色逼真、分辨率高、技术成熟等优点,为了克服其体积大、笨重的不足,增加电子束偏转角度已经成为CRT的发展趋势.本文对超大偏转角的偏转线圈进行了理论研究,优化了线圈绕线分布和校正磁铁...
  • 5. 用于室温红外探测器热敏材料的PECVD掺硼a-Si薄膜的研究
    作者： 刘理天 岳瑞峰 董良
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年4期
    页码:  277-281
    摘要： 采用PECVD法制备用于室温红外探测器中热敏感材料的掺硼a-Si薄膜.通过系统地研究气体流量、射频功率与衬底温度等制备工艺条件与薄膜的电导率、含氢量和电阻温度特性的相关性,得到了最佳的工艺条...
  • 6. GeSb2Te4薄膜表面形貌及力学性能的分形表征
    作者： 丁建宁 付永忠 杨继昌 解国新
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年4期
    页码:  282-285
    摘要： 以不同溅射功率在Si(111)基底上制备了GeSb2Te4薄膜.用原子力显微镜和X射线衍射仪以及高度相关函数法分析了薄膜生长表面形貌的分形维,并用纳米硬度计研究了薄膜表面的力学性能.结果表明...
  • 7. 平面行星夹具均匀性修正挡板设计方法研究
    作者： 吴明 方明 易葵 范正修 范瑞瑛 郑伟军
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年4期
    页码:  286-289
    摘要： 众多光学系统差要求越来越严格.在整个基底表面,每一层都需要沉积得相当均匀.因为,任何单层的非均匀性将增加最终的膜厚误差.随着平面行星夹具广泛地应用于大尺寸光学薄膜制备,必须实现对行星夹具的均...
  • 8. 柱弧离子镀制备Ti/TiN/Ti(N,C)/TiC黑色硬质膜
    作者： 姜翠宁 马胜歌
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年4期
    页码:  290-294
    摘要： 利用自制的柱弧离子镀膜机,在不同硬度基体上制备了Ti/TiN/Ti(N,C)/TiC多层复合膜.膜呈深黑色,反射率小于14%,亮度值L*小于43,沉积速率约为0.78μm/h,表面分布较多液...
  • 9. 直圆管道中分子流态下"位置束流效应"的Monte Carlo法模拟
    作者： 刘坤 张世伟 王继常 韩进
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年4期
    页码:  295-298
    摘要： 利用Monte Carlo模拟方法计算证明,气体在分子流态下通过直圆管道时有"位置束流效应"存在,即在直圆管道中心区域,分子通过的密度增大;而在靠近管壁的边缘区域,分子通过的密度减少.为了恰...
  • 10. TiN薄膜生长的无格点Kinetic Monte Carlo模拟
    作者： Engelbert Westkaemper 刘学杰 吴广新 王新蒙
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年4期
    页码:  299-302
    摘要： 本文介绍了采用无格点Kinetic Monte Carlo(KMC)方法,模拟TiN薄膜在TiN(001)基底表面上外延生长的仿真结果.在此无格点KMC方法中,使用了Dimer算法在势能面中...
  • 11. 等离子体浸没离子注入的二维元胞粒子法计算机模拟与剂量分布研究
    作者： 丁可 单莉英 吴志玮 孙琦 顾昌鑫
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年4期
    页码:  303-307
    摘要： 采用二维元胞粒子模型(PIC),模拟了一个完整脉冲时段内,等离子体浸没离子注入平板靶的过程.重点研究了等离子体鞘层的时空演化规律,以及入射离子流密度、入射离子角度与能量的分布,由此得到了注入...
  • 12. AlN缓冲层对提高硅基GaN薄膜质量的作用机理及其研究进展
    作者： 叶志镇 唐海平 朱丽萍 王敬蕊 赵炳辉
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年4期
    页码:  308-312
    摘要： AlN作为中间层可以有效提高硅基GaN的晶体质量.本文对于AlN作为形核层和插入层提高GaN晶体质量的机理进行分析和总结,并给出AlN的最佳生长条件.
  • 13. 用于高质量InGaN/GaN MQWs制备的MOCVD配气系统
    作者： 李培咸 郝跃
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年4期
    页码:  313-316
    摘要： 本文提出了一种新型的MOCVD恒流配气系统,该配气系统可有效地稳定控制温度和压力等关键工艺条件,在多层复杂结构的生长中改善材料质量.本文给出了该配气系统同传统配气方式生长效果的比较,PL对比...
  • 14. 离子源辅助电子束沉积凹印版耐磨层
    作者： 付亚波 张广秋 张跃飞 王正铎 葛袁静 陈强
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年4期
    页码:  317-320
    摘要： 针对凹印版电镀存在的污染和高能耗,采用射频感应偶合(ICP)离子源辅助电子束沉积硬质铬耐磨层,通过控制离子源参数和加入过渡层来提高薄膜与基体的结合力和显微硬度.利用扫描电镜、原子力显微镜、显...
  • 15. 激光预处理对增透膜阈值的影响
    作者： 崔云 张伟利 晋云霞 范正修 赵元安 邵建达 齐宏基
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年4期
    页码:  321-325
    摘要： 激光预处理是提高光学薄膜激光损伤阈值的有效方法之一.本文就激光预处理前后增透膜损伤阈值的变化、破斑深度的变化、膜层中电场分布情况,分析了激光预处理对阈值的影响及原因.
  • 16. HMDSO/H2等离子体化学气相沉积非晶包覆纳米α-SiC薄膜的实验研究
    作者： 丁斯晔 丁芳 周海洋 朱晓东 温晓辉 颜官超
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年4期
    页码:  326-329
    摘要： 本文利用六甲基二硅氧烷(HMDSO)作为先驱物质、氢气为稀释气体,进行了等离子体化学气相沉积碳硅薄膜的实验研究.运用X射线衍射、拉曼光谱、扫描电子显微镜和X射线光电子能谱对薄膜的成份和结构进...
  • 17. 电弧离子镀TiN及其复合膜的腐蚀机理探讨
    作者： 刘正义 史新伟 李杏瑞 邱万起
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年4期
    页码:  330-334
    摘要： 利用电弧离子镀在高速钢基体上制备了TiN及其复合膜(Ti,Cr)N,通过盐水全浸泡试验测量了薄膜的腐蚀速率,利用SEM观察了薄膜腐蚀后的表面形貌及断口形貌,并用其自带的能谱分析仪测量复合膜中...
  • 18. BEPCⅡ储存环真空系统
    作者： 周利娟 宋洪 李琦 杨奇 王雅婷 肖琼 董海义
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年4期
    页码:  335-338
    摘要： 本文首先描述了BEPCⅡ储存环真空系统的特点、主要参数和真空设备的总体布局.同时对储存环真空系统的关键设备真空盒、光子吸收器和RF屏蔽波纹管的设计原理、加工工艺以及实验方法进行了说明.另外还...

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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