真空科学与技术学报期刊
出版文献量(篇)
4084
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总被引数(次)
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名: 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊,长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录,已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅,有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿,已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位:
中国真空学会
ISSN:
1672-7126
CN:
11-5177/TB
出版周期:
月刊
邮编:
100022
地址:
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
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  • 作者: 何新智 孙明礼 李德才 郝瑞参
    发表期刊: 2007年3期
    页码:  269-272
    摘要: 介绍了磁性液体密封的理论,并应用ANSYS有限元分析软件对一个三槽四齿密封结构进行磁场有限元分析,并进一步对极齿尺寸进行优化设计.通过对计算结果进行的分析和讨论,结果表明,转轴侧极齿处与两侧...
  • 作者: 冯尚申 刘宜华 萧淑琴 陈卫平
    发表期刊: 2007年4期
    页码:  273-277
    摘要: 采用射频溅射法在单晶硅衬底上制备了(Fe0.88Zr0.07B0.05)97Cu3薄膜样品.X射线衍射结果表明,未经任何后期处理的沉积态薄膜为非晶态结构.在5kHz~13MHz频率范围内,着...
  • 作者: 冯庆 刘高斌 王万录 王新强
    发表期刊: 2007年4期
    页码:  278-281
    摘要: 二氧化钛和三氧化钨是具有重要功能的无机n型半导体材料,常用来制备气敏传感器.本文利用电子束蒸发制备了TiO2-WO3复合氧化物薄膜,在500℃下退火2h.通过SEM和XRD观察了该薄膜的形貌...
  • 作者: 吕国强 杨蕾 蔡斐 邓光晟 陈增泉
    发表期刊: 2007年4期
    页码:  282-285
    摘要: 随着电子设备对螺旋带行波管功率的需求,设计大功率螺旋带行波管越来越重要.本文介绍了一种新型螺旋带慢波结构--变内径螺旋带慢波结构,给出了软件模拟实例,并对于这种结构行波管的稳定性作了分析,证...
  • 作者: 刘桐 唐慧琴 孙学良 崔让庄 张学华 赵杰
    发表期刊: 2007年4期
    页码:  286-289,295
    摘要: 本文用离子束辅助沉积(IBAD)方法在碳纳米管薄膜表面制备铜薄膜.用琼脂平板法测试了抗菌率,测试菌种为革兰氏阴性大肠杆菌(E.coil)和革兰氏阳性金黄色葡萄球菌(S.aureus);用扫描...
  • 作者: 曹艳 胡文波
    发表期刊: 2007年4期
    页码:  290-295
    摘要: 为深入理解彩色交流等离子体显示屏的气体放电机制及提高器件性能,对三元混合气体He-Ne(26%)-Xe(3.7%)放电的辐射光谱组成和光谱线的瞬态过程进行了实验研究.通过采用高速增强型CCD...
  • 作者: 姜有燕 屠彦 张雄 杨兰兰 樊兆雯 王保平
    发表期刊: 2007年4期
    页码:  296-301
    摘要: 本文采用二维流体模型模拟了非对称荫罩式PDP结构的放电过程和放电特性.非对称荫罩式PDP结构的放电过程表明,该结构可产生斜拉的长路径放电,有效地提高放电效率.在5.8×104Pa,Ne+10...
  • 作者: 于广华 刘洋 张睿 金川
    发表期刊: 2007年4期
    页码:  302-304
    摘要: 在具有垂直磁各向异性Pt/(Pt/Co)n/FeMn/Pt多层膜中的Co/FeMn界面插入极薄的Pt层时,其交换偏置场有明显提高.研究结果表明:由于在Co/FeMn界面存在界面反应,破坏了(...
  • 作者: 付亚波 汤文杰 葛袁静 陈强
    发表期刊: 2007年4期
    页码:  305-308
    摘要: 在40kHz脉冲介质阻挡放电(DBD)产生等离子体,以丙烯酸为单体,在2000Pa的高气压下,聚合带羧基的功能薄膜.采用接触角测试仪(WCA)、傅里叶红外光谱仪(FTIR)、X光电子能谱(X...
  • 作者: 孙汪典 王英连
    发表期刊: 2007年4期
    页码:  309-311
    摘要: 在溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜的过程中掺入Ag,通过XRD、AFM和UV-Vis吸收光谱对该薄膜进行了表征.研究了掺Ag对ZnO薄膜光催化降解苯酚性能的影响.结果表明,ZnO薄膜掺入Ag之后,...
  • 作者: 刘伟 唐伟忠 蒋开云 黑立富
    发表期刊: 2007年4期
    页码:  312-317
    摘要: 在金刚石膜的化学气相沉积过程中,使用脉冲电源激励的微波等离子体可以提高金刚石膜的沉积速率或金刚石膜的质量.本文使用Langmuir探针研究了在工频脉冲电源激励条件下形成的线形微波H2等离子体...
  • 作者: 姚达毛 徐厚昌 秦织 陈文革 陈长琦
    发表期刊: 2007年4期
    页码:  318-321
    摘要: EAST核聚变实验装置是国家"九五"大科学工程项目,是一个具有非园截面的全超导托卡马克装置,本文主要说明真空室内部部件安装基准与真空室本体相连的过渡件--基准环的设计,及其在HALO电流所产...
  • 作者: 刘金峰 张文华 徐彭寿 徐法强 王科范 邹崇文
    发表期刊: 2007年4期
    页码:  322-326
    摘要: 本文介绍了一种温和简洁的硅表面化学清洗方法,它主要包括H2SO4:H2O2溶液清洗和HFC2H5OH刻蚀两个过程.清洗前后的硅表面用原子力显微镜(AFM)、X射线光电子能谱(XPS)和反射高...
  • 作者: 周继承 李幼真 陈海波
    发表期刊: 2007年4期
    页码:  327-331
    摘要: 采用直流反应磁控溅射方法在p型(100)Si衬底上制备了Ta-Al-N纳米薄膜与Cu/Ta-Al-N复合膜,并对薄膜样品进行了卤钨灯快速热退火(RTP).用四探针电阻测试仪(FPP)、AFM...
  • 作者: 佟洪波 巴德纯 闻立时
    发表期刊: 2007年4期
    页码:  332-335
    摘要: 利用中频反应磁控溅射成功制备了AlN薄膜.研究了过程参数例如靶电流、溅射气压和氮浓度对AlN薄膜沉积速率和光学性能的影响规律.实验结果表明,在优化制备工艺的基础上,能够制备出具有优良光学性能...
  • 作者: 刘纯亮 夏星 张劲涛 范玉锋
    发表期刊: 2007年4期
    页码:  336-340
    摘要: MgO介质保护膜掺杂可以改变其性能,基于这一现象,本文利用电子束加热蒸镀法,在多种掺杂比和多种工艺条件下制备了MgO介质保护膜和宏单元气体放电屏.利用扫描电子显微镜(SEM)对制备的复合介质...
  • 作者: 林承武 谢振宇 邓朝勇 龙春平
    发表期刊: 2007年4期
    页码:  341-345
    摘要: 采用傅里叶变换红外光谱仪、椭偏仪和YAF-5000M等测试仪器,对薄膜晶体栅界面层的键结构及含量、光学性能、物理性能以及晶体管导电性能进行分析研究.重点讨论了键含量与薄膜禁带宽度和介电常数的...
  • 作者: 张广秋 李朝阳 陈强
    发表期刊: 2007年4期
    页码:  346-349
    摘要: 本文报道了一种利用射频无电极放电激励的氮气等离子体新型光源,测出了辐射光谱、光功率、工作气压等光源相关参数,优化实验条件得出的电光转换效率达22.05%.最后运用此光源成功的对一种印刷预涂感...
  • 作者: 巴德纯 李明 王凤 蔺增
    发表期刊: 2007年4期
    页码:  350-353
    摘要: 利用射频等离子体增强化学气相沉积(RFPECVD)方法,以CH4、Ar和H2为气源,在CR-39树脂材料上制备出了含氢非晶碳膜(a-C;H膜).研究了不同偏压对a-C:H膜生长过程和光学特性...
  • 作者: 付景永 吉元 张隐奇 徐学东 戴琳 王丽 田彦宝
    发表期刊: 2007年4期
    页码:  354-358
    摘要: 观察非导电样品在扫描电镜(SEM)中产生的电子镜现象.研究了电子镜出现的条件,监测了电子镜像出现过程中表面电势Es和吸收电流Ia的变化.结果表明,当Es达到7kV~9kV时出现了电子镜像.当...
  • 作者: 夏睿 徐言生 李玉春 龙建佑
    发表期刊: 2007年4期
    页码:  359-362
    摘要: 为有效降低真空冷冻干燥设备运行能耗,在两套SZDG75型大型食品真空冷冻干燥设备上,分别采用了水作为载热流体的加热系统和二次蒸汽作为载热流体的加热系统,进行了冻干加工实际生产应用对比实验.实...
  • 作者: 丁明清 冯进军 张甫权 李兴辉 白国栋 邵文生 陈长青
    发表期刊: 2007年5期
    页码:  363-366
    摘要: 本文介绍了一种微图形化碳纳米管场发射阵列冷阴极,每个图形的直径仅为1 μm,构成一个发射单元.制作工艺如下:首先在硅(100)基片上沉积氮化钛缓冲层,然后采用曝光工艺获得直径为1 μm的胶孔...
  • 作者: 刘桐 张学华 曹猛 李德军 杨瑾 王明霞 邓湘云
    发表期刊: 2007年5期
    页码:  367-369
    摘要: 本研究选择钽和钒的氮化物作为个体层材料,利用射频磁控溅射系统制备TaN、VN及一系列的TaN/VN多层薄膜.通过XRD和纳米力学测试系统分析了该体系合成以后的晶体结构、调制周期对力学性能的影...
  • 作者: 刘同娟 顾文琪 马向国
    发表期刊: 2007年5期
    页码:  370-376
    摘要: 液态金属离子源的发射系统是源设计当中一个十分重要的因素,它的性能的优劣将直接影响到整个离子源的发射特性,进而影响整个聚焦离子束设备的工作性能.因而,在离子源的设计过程中,人们希望通过仿真手段...
  • 作者: 佟洪波 巴德纯 闻立时
    发表期刊: 2007年5期
    页码:  377-379
    摘要: 研究了用反应磁控溅射的方法制备氮化铝薄膜.由于铝和氮化铝二次电子发射系数有很大的不同,导致制备时会在金属模式和化合物模式间出现一个很大的跃迁.为了准确描绘实验结果,建立了一个反应溅射模型.该...
  • 作者: 朱兆君 杨赤如 贾宝富 辛玉霞
    发表期刊: 2007年5期
    页码:  380-385
    摘要: 基于人工神经网络(ANN)的皮尔斯电子枪初值设计方法,不但能有机地结合迭代综合法与非迭代综合法的优点,还能把前人体现在实验数据中的设计经验通过训练样本融入到其中,从而设计出很接近实验值的新电...
  • 作者: 周立勋 张鹰 朱俊 李言荣 罗文博 黄文
    发表期刊: 2007年5期
    页码:  386-390
    摘要: 用激光分子束外延(LMBE)设备,在SrTiO3(001)基片上外延生长BaTiO3/CoFe2O4/BaTiO3多层复合磁电薄膜结构.通过反射式高能电子衍射(RHEED)对薄膜生长过程进行...
  • 作者: 张丁 曹静 沈斌 缪亦珍
    发表期刊: 2007年5期
    页码:  391-394
    摘要: 输出腔外观品质因数Qext的计算是速调管设计中非常重要的一步,本文提出群时延时间法主要是利用Microwave Studio(MWS)软件计算输出腔外观品质因数Qext.通过对比,群时延时间...
  • 作者: 吴太权 毛宏颖 胡昉 鲍世宁
    发表期刊: 2007年5期
    页码:  395-399
    摘要: 利用第一性原理确定了四苯基卟啉分子的结构模型,结果表明分子中的苯环与卟吩骨架的夹角为55°,且苯环的自由旋转导致卟吩骨架略微偏离平面形状.再利用紫外光电子谱(UPS)研究了四苯基卟啉在Ru(...
  • 作者: 尉秀英 杜军 毛昌辉 熊玉华 秦光荣 苑鹏
    发表期刊: 2007年5期
    页码:  400-404
    摘要: 用粉末冶金工艺制备了一种改性的锆石墨类吸气剂,研究了激活工艺和吸气剂表面气体压强对该吸气剂吸气性能的影响.结果表明:该类吸气剂具有优越的室温吸气性能.高温短时间的激活效果优于低温长时间.增加...

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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