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真空科学与技术学报2009年出版文献
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905
真空科学与技术学报
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本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2009年3期页码:摘要： 以C2H2为碳源,Ar气为辅助气体,利用射频等离子体化学气相沉积的方法在有机薄膜PET和载玻片上制备了类金刚石(diamond-like carbon,DLC)薄膜.通过红外光谱(FTIR)...
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62. 真空触发开关的起弧稳定性分析刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2009年3期页码:摘要： 真空触发开关(triggered vacuum switch,TVS)是大功率脉冲技术领域的重要开关器件之一,它具有结构紧凑、介质恢复迅速、操作无噪声、工作可靠性高、环境适应性强等优点,在中...
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63. 低架水蒸汽喷射真空泵的结构改进刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2009年3期页码:摘要： 低架水蒸汽喷射真空泵在运行过程中,存在由于补给水的水压、流量及蒸汽压的波动,导致引流不畅,水封失效,产生倒流现象.分析实际情况,提出结构改进方案,引入汽、液两相流,对结构改进从理论角度和相关...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2009年3期页码:摘要： 本文介绍了一种通过CAD分析方法提高行波管性能的实例,用计算机模拟仿真行波管慢波结构的冷特性参数,利用MAFIA软件的准周期边界条件模拟计算行波管慢波系统的色散和耦合阻抗.通过改变不同结构参...
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65. 皮革真空湿加工设备与工艺的研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2009年3期页码:摘要： 为了解决制革中的污染问题,在真空条件下,对制革工艺中的脱毛、铬鞣等主要污染工序进行了试验研究,分析了湿加工过程中的主要影响因素,提出了集真空、温度和机械作用于一体的结构方案,研制成功了一种新...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2009年3期页码:摘要： 影响静态膨胀法真空标准校准下限的主要因素是器壁放气,本文提出了使用非蒸散型吸气剂泵(NEGP)消除器壁放气影响来延伸校准下限的方法.NEGP对惰性气体无抽速,当以惰性气体作为校准气体时,NE...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2009年3期页码:摘要： 采用FCVA方法沉积了厚度分别为2nm、5nm、10nm和30nm的类金刚石薄膜.在氩气保护下对类金刚石薄膜进行了180、300、400和600℃,保温6h的退火处理.用Raman光谱和宽光...
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68. ITO薄膜的磁控溅射工艺优化研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2009年3期页码:摘要： 通过磁控溅射陶瓷靶制备ITO薄膜的工艺实验,研究了基底温度、溅射电压、氧含量等主要工艺参数对该薄膜光电性能的影响.实验结果表明:当基底加热温度为295℃、溅射电压为250V、氧分压占镀膜室总...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2009年3期页码:摘要： 工业上用磁控溅射技术为太阳能集热管制备Al-N/Al选择性吸收涂层,这种吸收涂层最外层为AlN介质减反层.在开环N2流量控制模式下,存在溅射制备AlN介质减反层沉积速率低的缺点.本文依据气相...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2009年3期页码:摘要： 开发了一个朗缪尔探针等离子体诊断系统,对PECVD真空镀膜机进行了等离子体参数诊断.该镀膜机内的等离子体是电容偶合激发方式的氩等离子体,激发源为射频电源(13.56MHz).在射频功率为40...
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71. 无水氯化铝在真空条件下的升华研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2009年3期页码:摘要： AlCl3作为Al2O3的真空热还原-氯化-歧化反应的氯化剂,需要通过控制其升华条件以控制其进入反应体系的速率.本文研究了无水AlCl3在真空条件下的升华规律.采用研究Al2O3的真空热还原...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2009年3期页码:摘要：
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2009年4期页码:摘要： 本文采用反射式高能电子衍射(RHEED)监测脉冲激光沉积法制备钛酸铅薄膜过程.根据PbTiO3/MgO(001)薄膜、PbTiO3/Si(100)薄膜生长过程中RHEED强度的时间演变,分析...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2009年4期页码:摘要： 为了抑制乙烯裂解炉管内表面结焦,采用常压化学气相沉积方法在HP40试样上制备了SiO2/S涂层.用SEM和Raman光谱研究了沉积温度、源物质分压以及气体流速对SiO2/S涂层形貌和结构的影...
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75. AC PDP高阻维持驱动方法刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2009年4期页码:摘要： 针对AC PDP传统维持驱动方法存在零电压状态,造成两次维持放电之间壁电荷损失的问题.本文提出了一种AC PDP高阻维持驱动方法,在该方法中,采用高阻状态替换了传统维持驱动方法中的零电压状态...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2009年4期页码:摘要： 以ZnS、Mg粉末为原料,应用双源真空蒸镀法,在石英玻璃衬底上成功地制备了不同Mg含量x的三元固溶体半导体Zn1-xMgxS薄膜.根据薄膜的X射线能量色散谱、X射线衍射谱和紫外-可见吸收光谱...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2009年4期页码:摘要： 本文采用直流磁控溅射沉积了结构为NiFeCo(缓冲层)/[Cu/NiFeCo]×10/ Ta,巨磁电阻(GMR)值为9.8%的多层膜,利用微细加工技术制备了基于此GMR多层膜的生物传感器,G...
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78. 反应溅射的PID神经网络控制仿真刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2009年4期页码:摘要： 在反应溅射工艺中,反应气体流量和沉积速率、反应气体气压、靶电压之间存在迟滞关系.为了保证反应溅射稳定以及保持溅射率高和反应气体利用率高,需要对反应溅射系统进行精确控制.PID神经网络(PID...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2009年4期页码:摘要： 等离子体显示器面板的电磁屏蔽膜,既要满足对规定的电磁辐射波段进行屏蔽的要求,又需要有良好的可见光透过率和对非三基色波段的光的吸收能力,以提高图象画面的显示质量.本文通过实验的方法,在某商品屏...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2009年4期页码:摘要： 带状注速调管是采用宽高比值很大的薄矩形注来降低空间电荷效应,采用特殊的高频结构来增加功率容量,从而使注波互作用效率得到提高的一种新型微波电真空器件.本文对工作在π模状态下的X波段带状注速调管...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2009年4期页码:摘要： 螺旋线行波管中返波振荡是影响行波管设计的重要问题,行波管中当高频信号滞后于高压信号或者高频信号脉宽小于高压信号时,也就是在高电压信号的上升和下降沿,这时没有高频信号但返波振荡也有可能被激起,...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2009年4期页码:摘要： 介绍了用ANSOFT公司提供的HFSS 10.0软件模拟计算色散特性和耦合阻抗的理论方法,并对矩形螺旋线慢波结构的高频特性进行了数值模拟.结果表明:和传统的圆螺旋线结构相比,矩形结构具有更高...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2009年4期页码:摘要： 类金刚石膜(Diamond-like Carbon,DLC)具有优异的气体阻隔性能.在PET瓶体内表面制备DLC阻隔涂层时,阻隔涂层的均匀性会受到瓶体内流场结构(气压分布、速度分布等)的显著...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2009年4期页码:摘要： 采用MoS2/WS2复合靶材在不锈钢和硅基片上溅射MoS2/WS2纳米薄膜,通过多次实验,得到溅射MoS2/WS2薄膜的最佳工艺如下:溅射气压4.0Pa,靶基距为70mm,溅射功率为150W...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2009年4期页码:摘要： 变发射率热控技术是空间环境下的重要热控手段.微小卫星质量轻,尺寸小,功耗低及其真空环境工作等特点对热控系统提出了新的要求,相应热控器件应具有小质量、大发射率调节比、关闭状态漏热小、响应快等特...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2009年4期页码:摘要： 利用纳米结构材料作为光阳极制备的染料敏化太阳电池被称为纳米结构染料敏化太阳电池(NDSSC).一般而言,它由纳米结构金属氧化物半导体的光阳极、染料敏化剂,电解质和对电极等几个部分组成.目前,...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2009年4期页码:摘要： 室温下,结合正交实验表,用射频磁控溅射在涤纶(PET)非织造布基材上生长AZO(Al2O3:ZnO)纳米结构薄膜.采用四探针测量仪测试AZO薄膜的方块电阻,用原子力显微镜(AFM)分析薄膜微...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2009年4期页码:摘要： 分别在未沉积Ge和不同衬底温度(300、 500、700℃)沉积Ge条件下,利用固源分子束外延(SSMBE)技术在Si衬底上外延SiC薄膜.通过反射式高能电子衍射(RHEED)、X射线衍射(...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2009年4期页码:摘要： 采用电子束蒸发工艺在普通玻璃衬底上制备了硫化镉(CdS)多晶薄膜,研究了不同衬底温度对薄膜结构、表面形貌及光透过率的影响.测试结果显示:(1)不同衬底温度下沉积的CdS薄膜均呈现了〈002〉...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2009年4期页码:摘要： 显示技术正朝着柔性化、超薄化方向发展,低温制备柔性ITO薄膜已经成为一大趋势.本文在射频磁控溅射过程中,引入在线紫外辐照,室温条件下在有机衬底上制备柔性ITO薄膜的工艺,其最低方块电阻为5Ω...
真空科学与技术学报基本信息
| 刊名 | 真空科学与技术学报 | 主编 | 吴锦雷 |
| 曾用名 | 真空科学与技术 | ||
| 主办单位 | 中国真空学会 | 主管单位 | 中国科学技术协会 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
|
| ISSN | 1672-7126 | CN | 11-5177/TB |
| 邮编 | 100022 | 电子邮箱 | vst@chinesevacuum.com |
| 电话 | 010-58206280 | 网址 | |
| 地址 | 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室 |
真空科学与技术学报评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 化学文摘(美) |
| 2. | 中国科学引文数据库 |
| 3. | 日本科学技术振兴机构数据库(日) |
| 4. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
真空科学与技术学报统计分析
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