PECVD法沉积类金刚石膜的结构及其摩擦学性能

• 作者: 张受业 杨莉 陈强
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: PECVD 类金刚石膜 结构分析 摩擦性能
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 292-297
• 页数: 6页
• 分类号: TB43
• 字数: 3425字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2009.03.14

摘要

以C2H2为碳源,Ar气为辅助气体,利用射频等离子体化学气相沉积的方法在有机薄膜PET和载玻片上制备了类金刚石(diamond-like carbon,DLC)薄膜.通过红外光谱(FTIR)、拉曼光谱(Raman)分析了所制备DLC薄膜的结构;利用原子力显微镜(AFM)分析了薄膜的表面形貌;另外,还利用摩擦磨损仪对薄膜的机械性能进行了研究.实验得到:FTIR、Raman谱图分析发现碳氢膜主要由sp2和sp3杂化的碳氢化合物呈层状堆积而成,其组分与沉积参数密切相关;同时,sp2和sp3杂化比例影响所制备薄膜的致密性、均匀性和耐磨性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈强	北京印刷学院印刷包装材料与技术北京市重点实验室	125	542	10.0	17.0
2	杨莉	北京印刷学院印刷包装材料与技术北京市重点实验室	7	55	5.0	7.0
3	张受业	北京印刷学院印刷包装材料与技术北京市重点实验室	3	28	2.0	3.0