真空科学与技术学报期刊
出版文献量(篇)
4084
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总被引数(次)
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名: 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊,长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录,已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅,有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿,已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位:
中国真空学会
ISSN:
1672-7126
CN:
11-5177/TB
出版周期:
月刊
邮编:
100022
地址:
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
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  • 作者: 张文杰 朱圣龙 李汝愿 李瑛 王福会
    发表期刊: 2010年3期
    页码:  288-292
    摘要: 采用直流磁控反应混合靶共溅射的方法,在玻璃基体上制备出了Fe掺杂的TiO2膜,优化了沉积条件以制备出均匀透明的TiO2膜.通过调整固定在Ti靶上的Fe片面积可以控制膜中Fe的浓度.随着Fe浓...
  • 作者: 张跃飞 李兴存 桑利军 陈强
    发表期刊: 2010年3期
    页码:  293-296
    摘要: 采用自行设计和加工的微波电子回旋共振装置、进气系统和工艺程序,以三甲基铝为前躯体,氧气为氧化剂,HF处理过的单晶硅片为基片,在无任何外加热条件下进行原子层沉积氧化铝薄膜的实验研究.利用X射线...
  • 作者: 朱冬生 李新芳
    发表期刊: 2010年3期
    页码:  297-301
    摘要: 建立了测量纳米流体流动与对流换热性能的实验系统,探讨了不同pH值、分散剂浓度和纳米粒子质量分数对Cu-水纳米流体对流换热性能的影响.结果表明:pH值对Cu-水纳米流体对流换热系数的影响较小,...
  • 作者: 姜丽莉 宋淑梅 李延辉 杨田林 辛艳青 韩圣浩
    发表期刊: 2010年3期
    页码:  302-305
    摘要: 在室温下,采用直流磁控溅射方法制备了不同厚度的氧化锌掺铝薄膜,并对样品进行了快速退火处理,退火温度为600℃,时间为60 s.研究了退火前后薄膜的结构、光电特性的变化情况.退火后,薄膜的最小...
  • 作者: 刘汉法 张化福 类成新 袁长坤
    发表期刊: 2010年3期
    页码:  306-310
    摘要: 利用直流磁控溅射法在室温玻璃衬底上制备出了可见光透过率高、电阻率低的铝锆共掺杂氧化锌(ZAZO)透明导电薄膜.讨论了溅射功率对ZAZO薄膜结构、形貌和光电性能的影响.实验结果表明,溅射功率对...
  • 作者: 巩春志 李景 杨士勤 田修波 田雷
    发表期刊: 2010年3期
    页码:  311-315
    摘要: 利用偏压/射频耦合等离子体增强化学气相沉积技术在聚对苯二甲酸乙二醇酯(简称聚酯,PET)筒内壁制备了类金刚石薄膜(DLC).采用X射线光电子能谱、扫描电子显微镜、三维表面轮廓仪、紫外/可见光...
  • 作者: 李祥东 汪荣顺 陈树军
    发表期刊: 2010年3期
    页码:  316-320
    摘要: 采用热重分析方法,以氮气为载气,对真空吸气剂吸氢后的样品进行了热解实验.含100%PdO的吸气剂吸氢后的热解分为PdO脱氢、Pd脱氢和PdO分解三个区域,对应的温度区间分别为202~284℃...
  • 作者: 尹周澜 张平民 熊利芝 陈启元
    发表期刊: 2010年3期
    页码:  321-324
    摘要: 通过热力学计算和理论分析表明,在真空条件下可有效降低氧化锌矿中氧化物碳热还原反应的临界温度;将蒸馏出的气体进行分段冷凝,可将Pb,As,Cd与Zn分离.实验证实,在多级冷凝真空炉内,可以降低...
  • 作者: 徐均琪 梁海锋 苏俊宏
    发表期刊: 2010年3期
    页码:  325-328
    摘要: 在激光损伤测量系统中,利用光散射法判别激光薄膜损伤,需要寻求光源和探测器之间的最佳位置.为此,在不同损伤激光脉冲能量、不同测量入射角度(0°,30°,45°,60°)和不同探测器距离(200...
  • 作者: 崔贯英 张钧
    发表期刊: 2010年3期
    页码:  329-333
    摘要: 采用多弧离子镀技术并使用合金靶Ti-Al-Zr制备(Ti,Al,Zr)N多元超硬梯度膜.利用扫描电镜、X衍射仪对(Ti,Al,Zr)N膜层表面、断面形貌、成分、结构进行观察测定;系统考察了沉...
  • 作者: 周晖 蒋钊 郑军
    发表期刊: 2010年3期
    页码:  334-339
    摘要: 通过多种表面测试手段对几种单一及双离子注入空间齿轮传动副用30CrMnSi材料的真空摩擦学性能进行了研究,同时对不同注入条件进行了计算机模拟计算.结果表明,Ti++N+双注入后表面真空摩擦磨...
  • 作者:
    发表期刊: 2010年3期
    页码:  340
    摘要:
  • 作者: 刘卫国 刘欢 周顺 蔡长龙
    发表期刊: 2010年4期
    页码:  341-346
    摘要: 利用等离子体增强化学气相沉积技术在硅基底上沉积了氢化非晶硅(α-Si∶H)薄膜,通过纳米压入仪、电子薄膜应力分布仪、傅里叶变换红外光谱仪等表征技术,研究了沉积时的工艺参数(射频功率、沉积温度...
  • 作者: 宋长安 彭应全 李荣华 李训栓 汪润生 王颖 谢宏伟 马朝柱
    发表期刊: 2010年4期
    页码:  347-350
    摘要: 载流子迁移率的测量对有机半导体材料及器件的研究极为重要.在总结目前有机半导体迁移率测量方法优缺点的基础之上,本文提出了一种测量有机半导体中载流子迁移率的新方法:用真空蒸镀法制作结构为"金属-...
  • 作者: 李伟 赛小锋 赵宝升 赵菲菲 邹玮 韦永林
    发表期刊: 2010年4期
    页码:  351-354
    摘要: 在像增强器制备过程中,转移阴极-铟封技术使器件设计更加自由,并能提高器件的增益及时间、空间分辨率.相对于冷压铟封,热铟封技术更加简单实用,设备造价低,因此,在真空光电器件制备领域有着广泛的应...
  • 作者: 李先懿 莫晓亮 陈国荣
    发表期刊: 2010年4期
    页码:  355-358
    摘要: 研制了基于石英晶体微天平方法的聚醚酰亚胺湿度传感器,研究了它对相对湿度的响应特性和灵敏度以及这种湿度传感器在高湿度对比下的循环特性和长期老化性能.结果表明:在较宽的湿度范围内,这种湿度传感器...
  • 作者: 冯尚申 吴建波 周英 蔡培阳 薛双喜 陈卫平
    发表期刊: 2010年4期
    页码:  359-362
    摘要: 用定向凝固方法制备Ni54Mn21Ga25取向多晶合金.在292 K下测量了样品的磁致伸缩应变回线,结果表明:加正反方向磁场时,磁致伸缩应变回线基本对称,并存在磁致伸缩跳跃现象,饱和磁致应变...
  • 作者: 李俊芳 王俊文 赵煜 魏国强 黄仁亮
    发表期刊: 2010年4期
    页码:  363-366
    摘要: 针对高频等离子体化学气相沉积法制备纳米WOx粉体过程中传热和产物颗粒长大过程进行了阐述,建立了高频等离子反应器内温度场二维轴对称模型以及产物颗粒长大动力学模型.采用有限差分法和C语言对温度场...
  • 作者: 潘文霞 郭志颖 黄河激
    发表期刊: 2010年4期
    页码:  367-373
    摘要: 实时测量了减压直流纯氩等离子体的弧电压和射流高温区的瞬时离子饱和电流.结合射流高温区的瞬时形貌,探讨了在真空室压力500~10000 Pa条件下电弧及等离子体射流的波动特性.结果表明:当气流...
  • 作者: 刘濮鲲 李国超 肖刘 郝保良
    发表期刊: 2010年4期
    页码:  374-379
    摘要: 基于粒子模拟技术研究了螺旋线行波管的时域非线性理论,慢波结构中的场通过螺旋带模型求解得到,并考虑了夹持杆和屏蔽桶的影响,推导得到了注一波互作用的动理学方程;聚焦磁场可以是直流磁场也可以是周期...
  • 作者: 廖显恒 李云 王其富 王小霞 罗积润 赵青兰
    发表期刊: 2010年4期
    页码:  380-384
    摘要: 主要介绍一种电解-电镀Ni粉对氧化物阴极性能的影响,主要包括对该Ni粉及其制备阴极Ni海绵的形貌分析,采用飞行时间质谱法测试该Ni海绵的蒸发率,并对其制备氧化物阴极的发射性能进行寿命试验.结...
  • 作者: 冯庆
    发表期刊: 2010年4期
    页码:  385-389
    摘要: 运用超声雾化热分解法制备了纯TiO2薄膜,并通过超声雾化分解和电子束蒸发两种方法注入了Ru,Rh,Ir杂质,研究了各种薄膜对O2的传感特性,并利用透射电镱和原子力显微镜分析薄膜晶体的微观结构...
  • 作者: 兰峰 杨梓强 梁雪松 陈德亚
    发表期刊: 2010年4期
    页码:  390-394
    摘要: 本文对3毫米波段的带通频率选择表面滤波器结构进行了仿真和实验研究.通过仿真技术分别研究了臂长、入射波角度及极化方式对其频率响应特性的影响.实验测试结果表明该结构对入射波极化方式的敏感性很低,...
  • 作者: 左秀荣 黄晓辉
    发表期刊: 2010年4期
    页码:  395-400
    摘要: 采用直流反应磁控溅射系统,选择独立Ti靶在3003AlMn合金表面在不同氮流量下制备(Ti,Al)N薄膜,采用扫描电镜、能谱分析、X射线衍射、极化曲线试验、磨损试验、薄膜厚度和显微硬度试验等...
  • 作者: 刘春明 巴德纯 王永 蔺增 韩永超
    发表期刊: 2010年4期
    页码:  401-404
    摘要: 用电子束蒸发的方法在Ti盘上沉积氧化钛薄膜.分别用场发射扫描电镜,X射线光电子谱和X射线衍射分析所制备薄膜的表面形貌、化学成分和晶体结构,所制备的氧化钛薄膜的晶体结构依赖于制备过程中的沉积参...
  • 作者: 孙兆奇 宋学萍 曹春斌
    发表期刊: 2010年4期
    页码:  405-408
    摘要: 通过控制射频磁控溅射时间(5,10和15 min)和Ag组分制备了三种厚度、四种Ag体积百分比(5%,10%,15%和20%)的Ag-ZnS复合薄膜.微结构研究表明:较低Ag组分(5%,10...
  • 作者: 仲雪飞 尹涵春 张雄 王保平 雷威
    发表期刊: 2010年4期
    页码:  409-413
    摘要: 讨论了包括丝网印刷、厚膜光刻、荧光粉沉积成膜、喷涂等厚膜工艺以及后栅极结构场致发射显示屏的制备工艺.研究了老炼工艺对阴极发射特性的改善.采用全厚膜工艺制备了2英寸后栅极场发射显示板样屏,在阳...
  • 作者: 孟月东 蒋仲庆 遇鑫遥
    发表期刊: 2010年4期
    页码:  414-419
    摘要: 等离子体溅射沉积是制备直接甲醇燃料电池电极的非常好的方法.采用磁控溅射,Pt被成功溅射在气体扩散层上.在不同的溅射功率和气压下制备了具有相同n负载量(0.1 mg/c㎡)的电极.X射线衍射测...
  • 作者: 徐均琪 惠迎雪 李荣 苏俊宏
    发表期刊: 2010年4期
    页码:  420-424
    摘要: 采用电子束蒸发混合膜料的方法制备了TiO2/ZrO2复合薄膜,研究了工艺条件(气体流量、沉积速率、基片温度、组份比)对其光学特性的影响.采用椭偏法测量了薄膜的折射率,分析了不同配比复合薄膜的...
  • 作者: 任高潮 李强 王德苗 董树荣 金浩
    发表期刊: 2010年4期
    页码:  425-429
    摘要: 石英晶振的谐振频率在出厂前都需要进行微调,使之达到需要的标称值.本文提出激光调频的新技术,利用适当激光能量使电极膜层汽化减薄,从而使晶振的频率精确升高到预期值,重点研究了激光器的工作电流和Q...

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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