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真空科学与技术学报

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Chinese Journal of Vacuum Science and Technology

曾用名：真空科学与技术

CA CSCD JST CSTPCD

影响因子 0.3586

本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。

主办单位：

中国真空学会

ISSN：

1672-7126

CN：

11-5177/TB

出版周期：

月刊

邮编：

100022

地址：

北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

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热门刊内文献

年度刊次

1. PECVD法沉积氢化非晶硅薄膜内应力的研究

作者：刘卫国刘欢周顺蔡长龙

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2010年4期

页码: 341-346

摘要：利用等离子体增强化学气相沉积技术在硅基底上沉积了氢化非晶硅(α-Si∶H)薄膜,通过纳米压入仪、电子薄膜应力分布仪、傅里叶变换红外光谱仪等表征技术,研究了沉积时的工艺参数(射频功率、沉积温度...
2. 基于肖特基接触Ⅳ分析法的有机半导体迁移率确定方法

作者：宋长安彭应全李荣华李训栓汪润生王颖谢宏伟马朝柱

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2010年4期

页码: 347-350

摘要：载流子迁移率的测量对有机半导体材料及器件的研究极为重要.在总结目前有机半导体迁移率测量方法优缺点的基础之上,本文提出了一种测量有机半导体中载流子迁移率的新方法:用真空蒸镀法制作结构为"金属-...
3. 热铟封技术中多层金属薄膜的研究

作者：李伟赛小锋赵宝升赵菲菲邹玮韦永林

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2010年4期

页码: 351-354

摘要：在像增强器制备过程中,转移阴极-铟封技术使器件设计更加自由,并能提高器件的增益及时间、空间分辨率.相对于冷压铟封,热铟封技术更加简单实用,设备造价低,因此,在真空光电器件制备领域有着广泛的应...
4. 基于石英晶体微天平的聚醚酰亚胺湿度传感器

作者：李先懿莫晓亮陈国荣

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2010年4期

页码: 355-358

摘要：研制了基于石英晶体微天平方法的聚醚酰亚胺湿度传感器,研究了它对相对湿度的响应特性和灵敏度以及这种湿度传感器在高湿度对比下的循环特性和长期老化性能.结果表明:在较宽的湿度范围内,这种湿度传感器...
5. 织构取向Ni54Mn21Ga25合金的相变和磁致应变

作者：冯尚申吴建波周英蔡培阳薛双喜陈卫平

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2010年4期

页码: 359-362

摘要：用定向凝固方法制备Ni54Mn21Ga25取向多晶合金.在292 K下测量了样品的磁致伸缩应变回线,结果表明:加正反方向磁场时,磁致伸缩应变回线基本对称,并存在磁致伸缩跳跃现象,饱和磁致应变...
6. RF-PCVD法纳米WOx制备中传热及颗粒长大的数值模拟

作者：李俊芳王俊文赵煜魏国强黄仁亮

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2010年4期

页码: 363-366

摘要：针对高频等离子体化学气相沉积法制备纳米WOx粉体过程中传热和产物颗粒长大过程进行了阐述,建立了高频等离子反应器内温度场二维轴对称模型以及产物颗粒长大动力学模型.采用有限差分法和C语言对温度场...
7. 减压直流非转移电弧及等离子体射流波动特性研究

作者：潘文霞郭志颖黄河激

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2010年4期

页码: 367-373

摘要：实时测量了减压直流纯氩等离子体的弧电压和射流高温区的瞬时离子饱和电流.结合射流高温区的瞬时形貌,探讨了在真空室压力500～10000 Pa条件下电弧及等离子体射流的波动特性.结果表明:当气流...
8. 螺旋线行波管的时域粒子模拟研究

作者：刘濮鲲李国超肖刘郝保良

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2010年4期

页码: 374-379

摘要：基于粒子模拟技术研究了螺旋线行波管的时域非线性理论,慢波结构中的场通过螺旋带模型求解得到,并考虑了夹持杆和屏蔽桶的影响,推导得到了注一波互作用的动理学方程;聚焦磁场可以是直流磁场也可以是周期...
9. 电解-电镀Ni粉对氧化物阴极性能的影响

作者：廖显恒李云王其富王小霞罗积润赵青兰

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2010年4期

页码: 380-384

摘要：主要介绍一种电解-电镀Ni粉对氧化物阴极性能的影响,主要包括对该Ni粉及其制备阴极Ni海绵的形貌分析,采用飞行时间质谱法测试该Ni海绵的蒸发率,并对其制备氧化物阴极的发射性能进行寿命试验.结...
10. 超声雾化热分解气相沉积法制备TiO2薄膜的气敏特性研究

作者：冯庆

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2010年4期

页码: 385-389

摘要：运用超声雾化热分解法制备了纯TiO2薄膜,并通过超声雾化分解和电子束蒸发两种方法注入了Ru,Rh,Ir杂质,研究了各种薄膜对O2的传感特性,并利用透射电镱和原子力显微镜分析薄膜晶体的微观结构...
11. 3毫米波段频率选择表面滤波器的研究

作者：兰峰杨梓强梁雪松陈德亚

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2010年4期

页码: 390-394

摘要：本文对3毫米波段的带通频率选择表面滤波器结构进行了仿真和实验研究.通过仿真技术分别研究了臂长、入射波角度及极化方式对其频率响应特性的影响.实验测试结果表明该结构对入射波极化方式的敏感性很低,...
12. 氮流量对采用独立钛靶制备的(Ti,Al)N薄膜结构与性能的影响

作者：左秀荣黄晓辉

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2010年4期

页码: 395-400

摘要：采用直流反应磁控溅射系统,选择独立Ti靶在3003AlMn合金表面在不同氮流量下制备(Ti,Al)N薄膜,采用扫描电镜、能谱分析、X射线衍射、极化曲线试验、磨损试验、薄膜厚度和显微硬度试验等...
13. 电子束蒸发氧化钛薄膜的化学成分与显微结构

作者：刘春明巴德纯王永蔺增韩永超

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2010年4期

页码: 401-404

摘要：用电子束蒸发的方法在Ti盘上沉积氧化钛薄膜.分别用场发射扫描电镜,X射线光电子谱和X射线衍射分析所制备薄膜的表面形貌、化学成分和晶体结构,所制备的氧化钛薄膜的晶体结构依赖于制备过程中的沉积参...
14. Ag-ZnS纳米复合薄膜的微结构和电学特性研究

作者：孙兆奇宋学萍曹春斌

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2010年4期

页码: 405-408

摘要：通过控制射频磁控溅射时间(5,10和15 min)和Ag组分制备了三种厚度、四种Ag体积百分比(5%,10%,15%和20%)的Ag-ZnS复合薄膜.微结构研究表明:较低Ag组分(5%,10...
15. 厚膜工艺制备后栅极场发射显示板的研究

作者：仲雪飞尹涵春张雄王保平雷威

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2010年4期

页码: 409-413

摘要：讨论了包括丝网印刷、厚膜光刻、荧光粉沉积成膜、喷涂等厚膜工艺以及后栅极结构场致发射显示屏的制备工艺.研究了老炼工艺对阴极发射特性的改善.采用全厚膜工艺制备了2英寸后栅极场发射显示板样屏,在阳...
16. 磁控溅射法制备直接甲醇燃料电池阴极

作者：孟月东蒋仲庆遇鑫遥

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2010年4期

页码: 414-419

摘要：等离子体溅射沉积是制备直接甲醇燃料电池电极的非常好的方法.采用磁控溅射,Pt被成功溅射在气体扩散层上.在不同的溅射功率和气压下制备了具有相同n负载量(0.1 mg/c㎡)的电极.X射线衍射测...
17. TiO2/ZrO2复合薄膜的制备及工艺参数对薄膜折射率的影响

作者：徐均琪惠迎雪李荣苏俊宏

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2010年4期

页码: 420-424

摘要：采用电子束蒸发混合膜料的方法制备了TiO2/ZrO2复合薄膜,研究了工艺条件(气体流量、沉积速率、基片温度、组份比)对其光学特性的影响.采用椭偏法测量了薄膜的折射率,分析了不同配比复合薄膜的...
18. 晶振电极激光减薄调频技术的研究

作者：任高潮李强王德苗董树荣金浩

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2010年4期

页码: 425-429

摘要：石英晶振的谐振频率在出厂前都需要进行微调,使之达到需要的标称值.本文提出激光调频的新技术,利用适当激光能量使电极膜层汽化减薄,从而使晶振的频率精确升高到预期值,重点研究了激光器的工作电流和Q...
19. 应用强磁场控制Zn薄膜取向研究

作者：任忠鸣任树洋任维丽

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2010年4期

页码: 430-433

摘要：在不同磁场下,用真空蒸发法制备了不同方向放置的Zn薄膜.对样品进行X射线衍射分析表明,在大于3 T的磁场环境下,垂直于磁场放置的基片上制备的Zn薄膜最强衍射峰为(002),而平行于磁场方向放...
20. 等离子体钝化316L不锈钢抗点蚀性能研究

作者：刘峰吴建华李相波王琪

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2010年4期

页码: 434-437

摘要：本文运用冷弧空气等离子体射流技术处理316L不锈钢表面,分别采用俄歇能谱、阳极极化和FeCl3加速腐蚀实验等研究316L不锈钢表面所形成钝化膜的成分、结构和抗点蚀性能.研究表明:316L不锈...
21. 大气压氮气介质阻挡放电等离子体对丙纶熔喷无纺布的表面改性

作者：张明张燕顾彪

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2010年4期

页码: 438-444

摘要：使用大气压氮气介质阻挡放电(DBD)等离子体对丙纶熔喷无纺布进行表面处理,通过水接触角测量、傅里叶变换红外反射光谱、扫描电镜和X射线光电子能谱等测试方法研究了等离子体处理前后丙纶熔喷无纺布表...
22. TMGa流量对玻璃衬底上低温沉积GaN的影响

作者：刘胜芳吴爱民姜辛李帅杨智慧秦福文董武军陈伟绩

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2010年4期

页码: 445-449

摘要：采用电子回旋共振-等离子体辅助增强金属有机物化学气相沉积两步生长法在玻璃衬底上低温沉积CaN薄膜.利用原位反射高能电子衍射、X射线衍射、室温透射光谱和原子力显微镜,研究了不同TMGa流量条件...
23. 利用低压氧化处理方法实现铜表面的超疏水改性

作者：严辉宋雪梅张雪红李耳王波裴明德

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2010年4期

页码: 450-454

摘要：通过化学反应和低气压氧化两步法,在不用低表面能有机物修饰的情况下,在铜表面成功制备了一层超疏水薄膜,其表面的接触角可达到151°,滚动角小于10°.用扫描电镜、接触角测量仪、X射线衍射仪、能...
24. 水蒸气喷射泵混合室内边界层脱离现象的计算流体力学研究

作者：王晓冬董敬亮

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2010年4期

页码: 455-458

摘要：为了深入了解水蒸气喷射泵内流场结构,采用文献[1]给出的物理模型,在保持其他条件不变情况下,采用计算流体力学模拟得到不同背压下喷射泵内部压力分布图和混合室内迹线图,模拟结果与实验数据有较好的...

真空科学与技术学报基本信息

刊名	真空科学与技术学报	主编	吴锦雷
曾用名	真空科学与技术
主办单位	中国真空学会	主管单位	中国科学技术协会
出版周期	月刊	语种	chi
ISSN	1672-7126	CN	11-5177/TB
邮编	100022	电子邮箱	vst@chinesevacuum.com
电话	010-58206280	网址
地址	北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室