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真空科学与技术学报2014年出版文献
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905
真空科学与技术学报
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本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
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19905
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2014年2期页码:摘要： 采用射频等离子增强化学气相沉积(RF-PECVD)技术,在较高的射频功率和沉积气压条件下,通过改变硅烷浓度和衬底温度等参数,以Corning7059玻璃为衬底制备微晶硅薄膜材料.通过拉曼光谱...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2014年2期页码:摘要： 以Mo薄膜为衬底层,采用磁控溅射工艺在热单晶si(100)基片上制备了3μm厚的smCo7永磁薄膜,研究了薄膜在25～ 300℃范围内的高温磁学行为.基于趋近饱和定律,建立了薄膜磁晶各向异性...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2014年2期页码:摘要： 首先将蓝宝石表面金属化,镀钛/镍(Ti/Ni)复合膜,然后在900℃下将其进行高温预扩散,为下一步采用常规Ag-Cu钎料焊接做准备.结果表明,要保证在900℃下扩散后镀钛层不流失,必须保证镀...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2014年2期页码:摘要： 微波透射衰减数据是研究等离子体与微波相互作用时的重要实验数据,本文针对柱状等离子体,分析了准确测量其微波透射衰减所应满足的三个条件:等离子体等厚、入射波远场、等离子体反射可忽略;并设计了满足...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2014年2期页码:摘要： 矩形管由于自身形状的原因会造成等离子体注入的不均匀性,给内表面改性带来困难.本文基于particle-in-cell(PIC)模型采用Matlab软件对矩形管内壁等离子体离子注入进行数值仿真...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2014年2期页码:摘要： 利用矢量网络微波测试系统测量了单层柱状等离子体阵列对2～ 18 GHz微波的透射衰减,分析了微波极化方向、等离子体密度、阵列中的单元间距等因素对微波衰减的影响.结果表明,该结构对TM波的衰减...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2014年2期页码:摘要： 为了提高纳米银粉在导体浆料中的分散性以及与基体的结合力,通过直流电弧等离子法制备纳米银粉,并对银粉进行表面改性.利用X射线衍射、X射线荧光分析、热分析、透射电子显微镜等测试手段对样品的晶体结...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2014年2期页码:摘要： 介绍了自行设计的等离子体增强原子层沉积(PEALD)系统及其原位制备氮掺杂纳米TiO2可见光催化剂的实验结果.PEALD系统主要由远程脉冲感应耦合等离子体发生器、真空反应腔室、真空系统、前驱...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2014年3期页码:摘要： 除湿溶液再生是维持除湿过程持续进行的必备条件,其效率直接影响整个系统的性能.以常用除湿溶液氯化锂为研究对象,在理论分析其液滴闪蒸过程表面温度的变化基础上,进行了实验测试分析.实验结果表明,典...
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40. 香蕉片微波真空干燥的工艺参数优化刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2014年3期页码:摘要： 利用微波真空干燥技术开发香蕉干制新产品,获取香蕉片微波真空干燥的最佳工艺.采用三因素三水平的L9(34)正交试验设计,研究真空度、微波强度和切片厚度对香蕉片产品色差、脆度、膨化率和感官品质的...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2014年3期页码:摘要： 通过对中国小卫星所采用的氦质谱正压累积检漏方法的分析,建立了正压累积检漏计算模型及不确定度评定模型.在试验数据计算分析及不确定度分析中引入最小二乘法,提出了应用最小二乘法对一元一次方程的斜率...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2014年3期页码:摘要： 搁板是果蔬真空低温干燥设备的核心部件之一,本文以实验室果蔬真空低温干燥箱搁板为基础,分析了其传热过程,模拟其加热搁板的温度分布.并且,将猕猴桃作为试验样品,搁板作为研究核心,通过试验,研究了...
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43. 极高真空环境下软金属刀口密封研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2014年3期页码:摘要： 密封是保证航天器发射、运行可靠性及寿命的关键环节之一,随着月球及深空探测技术发展需求,迫切需要解决在极高真空环境下设备的密封技术.本文根据空间环境的适应要求,研制设计一种采用软金属合金作为填...
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44. 真空夹具系统的设计刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2014年3期页码:摘要： 脆薄零件在加工中影响零件加工精度的主要问题是工件变形.在实际生产过程中,为了保证脆薄零件的加工精度,采用真空夹具来夹紧.真空夹具可以平稳、可靠地夹紧工件,且不易损坏所吸取工件的表面.本文根据...
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45. 石英玻璃真空腔的低温键合技术研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2014年3期页码:摘要： 用于制造石英玻璃真空腔的低温键合技术受到了广泛的重视.该技术基于氢氧化物催化玻璃表面的水解/脱水过程,通过在键合界面之间形成硅酸盐三维网状结构实现键合,是一种高强度、高精确性、可靠的室温键合...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2014年3期页码:摘要： 用阴极离子镀方法在TiC基金属陶瓷刀具表面制备了AlCrN涂层,通过扫描电镜、X射线衍射和能谱分析面扫描与线扫描等手段对AlCrN涂层组织结构和表面-界面化学元素分布进行了分析,并对其界面扩...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2014年3期页码:摘要： 采用多靶共焦射频磁控溅射制备不同调制比的NbSiN/VN多层膜.利用X射线衍射、扫描电镜、能量色散谱、纳米压痕仪及摩擦试验机对薄膜的成分、相结构、力学及摩擦性能进行分析.结果表明,NbSiN...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2014年3期页码:摘要： 采用射频磁控溅射工艺在Si基体上制备了TiN/Si3N4纳米复合结构涂层.对不同溅射气压、基片温度以及N2/Ar气流比条件下制备的TiN/Si3N4纳米复合涂层的结构和性能进行了研究和分析....
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2014年3期页码:摘要： 为延长活塞环的使用寿命,改善活塞环与缸套的摩擦磨损状况,采用闭合场非平衡磁控溅射技术在活塞环表面制备了不同Mo含量的CrMoN复合薄膜,比较研究了电镀Cr活塞环和CrMoN复合薄膜活塞环的纳...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2014年3期页码:摘要： 采用高功率脉冲磁控溅射技术制备TiN薄膜,通过基架自转与固定的调节方式,研究了离子轰击对所制备T饿薄膜结构和性能的影响.采用台阶仪测量薄膜的厚度,采用场发射扫描电镜、扫描探针显微镜、X射线衍...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2014年3期页码:摘要： 为实现高纯度氧化铝薄膜的快速稳定溅射沉积,采用非平衡闭合磁场孪生靶技术,利用脉冲直流磁控溅射方法,首先对溅射电压随氧流量的迟滞现象进行了研究,在此基础上,提出了一种新型的等离子体辅助溅射沉积...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2014年3期页码:摘要： 提出了一种用于铁氧体电感金属化的耐高温薄膜.它采用了Ni-V/Ag复合膜系,能够满足贴片电感组装过程中耐受420℃高温焊接10s的要求,而且厚度不超过6μm.为了了解焊接中的表面反应过程,用...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2014年3期页码:摘要： 超疏水表面改性可以提高聚碳酸酯(PC)的实用性能.采用氧气等离子体刻蚀的方法对PC基片表面进行处理结合表面沉积疏水性涂层制备了超疏水表面.利用原子力显微镜、X射线光电子能谱仪和傅里叶变换红外...
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54. 栅绝缘层过孔的反应离子刻蚀研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2014年3期页码:摘要： 为了适应薄膜晶体管液晶显示器窄边框化以及面板布线精细化的趋势,以及利用较少光刻次数生产出高品质的产品,本文研究了利用反应离子刻蚀栅绝缘层过孔.介绍了栅绝缘层过孔刻蚀的原理,通过实验以及测试研...
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55. 浸没式等离子体注入设备的仿真优化刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2014年3期页码:摘要： 针对集成电路注入设备对等离子体大面积、高密度和良好均匀性的要求,利用CFD-ACE仿真软件对1500 mm×1500 mm大面积感应耦合等离子体腔室做了多物理场综合仿真.利用正交实验法对等离...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2014年3期页码:摘要： 从微波理论出发,经过数学变换,建立了群时延与速调管输出腔间隙自阻抗实部的数值关系.用此新方法与传统方法测试了工程上成熟的某速调管的双间隙输出腔.然后,讨论了用群时延来估算间隙阻抗的可行性与局...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2014年3期页码:摘要： 针对W波段2GHz带宽范围内500 W以上输出功率的系统应用需求,对一种新型贯通耦合式梯形线行波管进行了分析和模拟设计.通过CST微波工作室分析了这种贯通耦合式梯形线电路的冷特性参数,结果表...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2014年3期页码:摘要： 通过液相磁力搅拌混合原料粉末钛、铝、石墨以及少量锡,压片后在1300～1400℃无压烧结合成了三元鸭A坞陶瓷.研磨粉碎后样品的X射线衍射(XRD)结果表明,在1300和1350℃烧结30mi...
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59. 蒸汽喷射器的三维数值模拟研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2014年3期页码:摘要： 借助STAR-CCM+软件对热泵蒸发系统中的核心部件蒸汽喷射器进行了三维数值模拟,采用有限体积法离散控制方程,标准k-ε湍流模型,近壁面处使用壁面函数修正.考察并分析了工作蒸汽、引射蒸汽压力...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2014年4期页码:摘要： 以西芹为原料,通过试验研究了在热风真空组合干燥工艺条件下,中间转换点含水率、热风温度、真空温度和真空度等因素对西芹组合干燥过程的影响;通过响应面法分析了中间转换点含水率、热风温度、真空温度及...
真空科学与技术学报基本信息
| 刊名 | 真空科学与技术学报 | 主编 | 吴锦雷 |
| 曾用名 | 真空科学与技术 | ||
| 主办单位 | 中国真空学会 | 主管单位 | 中国科学技术协会 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
|
| ISSN | 1672-7126 | CN | 11-5177/TB |
| 邮编 | 100022 | 电子邮箱 | vst@chinesevacuum.com |
| 电话 | 010-58206280 | 网址 | |
| 地址 | 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室 |
真空科学与技术学报评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 化学文摘(美) |
| 2. | 中国科学引文数据库 |
| 3. | 日本科学技术振兴机构数据库(日) |
| 4. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
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