真空科学与技术学报期刊
出版文献量(篇)
4084
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总被引数(次)
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名: 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊,长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录,已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅,有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿,已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位:
中国真空学会
ISSN:
1672-7126
CN:
11-5177/TB
出版周期:
月刊
邮编:
100022
地址:
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
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  • 作者: 周长省 李映坤 杜镇志 陈雄
    发表期刊: 2016年2期
    页码:  186-192
    摘要: 为了研究电弧加热等离子发动机的内外流场特性,采用基于磁矢量势的磁流体力学控制方程,在计算流体力学软件Fluent中添加用户自定义函数(UDF)实现添加特殊源项和自定义标量,对自主设计的超音速...
  • 作者: 李风兰 温科
    发表期刊: 2016年2期
    页码:  193-198
    摘要: 为改善生物医用钛合金的表面性能及植入人体后的耐腐蚀性能,利用双层辉光等离子技术在近β钛合金TLM表面进行渗氮处理.通过金相显微镜、X射线衍射仪、显微硬度仪、电子显微镜及电化学工作站研究渗氮后...
  • 作者: 周玉林 杨铁牛
    发表期刊: 2016年2期
    页码:  199-203
    摘要: 集成电路(IC)装备工艺腔室内流场的均匀性是影响镀膜质量的关键因素.本文通过控制真空腔室人口处N2流量(140,230,320 mL/min(标准状态))和出气口处压强值(36,45,55 ...
  • 作者: 乔大勇 夏长峰 曹兰玉
    发表期刊: 2016年2期
    页码:  204-208
    摘要: 以一种有尾排气式真空封装器件为对象,从释放气体组分和放气量两方面对封装体内部放气特性进行了分析,旨在为器件的高真空度设计、提高器件寿命提供依据.首先,通过残余气体分析得到了各封装体内部的气体...
  • 作者: 何红 刘云龙 王斌 陈静 黄亮杰
    发表期刊: 2016年2期
    页码:  209-216
    摘要: 研究并设计了一种针对95 GHz TE6,2模回旋振荡管的高效率准光模式变换器.该模式变换器由一个Denisov型开口辐射器和四级反射镜面构成.首先详细介绍了开口辐射器和反射镜面的设计方法,...
  • 作者: 刘官 刘鹏 彭润玲 曾群锋 韩少星
    发表期刊: 2016年2期
    页码:  217-222
    摘要: 为了提高纳米铜粉的分散性,以五水硫酸铜和次亚磷酸钠为原料,采用三种不同的冻结方式:-55℃直接冷冻、抽真空快速冷冻、液氮急速冷冻,用真空冷冻干燥法制备了纳米铜粉.通过透射电子显微镜、X射线衍...
  • 作者: 李诚 王佐磊 薛大同 雷军刚 马勉军
    发表期刊: 2016年2期
    页码:  223-228
    摘要: 空间电场探测球形传感器是利用卫星平台在空间耦合等离子体电势的敏感部件.球形传感器通常采用加工性能良好、质轻的铝合金材料,表面涂覆导电涂层.而涂层的光电特性会影响电场的测量精度.本文对涂层光电...
  • 作者: 姜利祥 孙继鹏 朱云飞 焦子龙 黄建国
    发表期刊: 2016年2期
    页码:  229-233
    摘要: 在轨运行的卫星容易受到分子污染影响,造成光学、热控等系统敏感表面性能退化,因此必须对分子污染进行控制.分子污染主要来源于材料放气,典型分子污染成分为邻苯二甲酸酯类和硅氧烷类,因此有必要研究其...
  • 作者: 李现霞 段坤杰 韦宇祥
    发表期刊: 2016年2期
    页码:  234-237
    摘要: 根据热初速理论,分析了皮尔斯电子枪的电子注包络曲线,结果表明理论上采用的热电子径向分布σ曲线一直处于增长发散状态,导致理论包络曲线在注腰之后严重发散.本文提出一种新的修正计算方法,在电子注汇...
  • 作者: 孔令鑫 张瑶 朱福兴 李亮 李开华 盛卓 苗庆东
    发表期刊: 2016年2期
    页码:  238-243
    摘要: 对海绵钛真空蒸馏提纯的原理及不同等级海绵钛真空蒸馏过程关键控制参数进行了对比分析研究,考察真空蒸馏过程中杂质组分行为、工艺控制对海绵钛产品质量带来的影响.理论分析结果表明:真空蒸馏过程中蒸馏...
  • 作者: 刘佳 叶茂 赵蕾霞 钟永恒
    发表期刊: 2016年2期
    页码:  244-250
    摘要: 基于中国标准服务网(CSSN)和中国知网标准数据总库,采用文献计量方法、文献调研方法、聚类分析等方法,对真空泵领域标准的数量分布、类别分布、产业链分布和产品布局进行研究.发现:真空泵产品逐渐...
  • 作者: 吴晓斌 王宇 王魁波 罗艳
    发表期刊: 2016年3期
    页码:  251-257
    摘要: 材料放气率是评价真空材料性能的重要参数.高精度真空材料放气测试系统集成了定容升压法、小孔流导法和双通道转换法三种材料放气率测试方法.其独特的系统设计与加工并配备先进的泵阀计组件,使系统获得无...
  • 作者: 李德才 杨小龙
    发表期刊: 2016年3期
    页码:  258-262
    摘要: 为了解决大间隙条件下磁性液体密封耐压能力低的难题,本文在阶梯式迷宫密封的基础上创造性地提出了一种新型阶梯式磁性液体密封结构.初步设计了一种聚合型阶梯式磁性液体密封结构和一种与其具有相同结构参...
  • 作者: 丁亚琪 张秀珍 李建新 梁逸敏 王永川 蒋林 陈世一 陈光明
    发表期刊: 2016年3期
    页码:  263-267
    摘要: 试验对真空冷凝锅炉中的叉排水平换热管的管束效应进行了研究.为了解真空锅炉中冷却水流速、进出口温度、热通量、不凝性气体等参数对管束效应的影响规律,试验设置了不同的工况,得到换热管束中各单管的冷...
  • 作者: 刘旭泽 高贵军
    发表期刊: 2016年3期
    页码:  268-272
    摘要: 介绍了一种基于Hartmann哨的超声雾化喷嘴.通过激光粒度分析仪对喷嘴的雾化特性进行了实验研究,分析了不同气压对雾滴索特平均直径(SMD)、雾化角和用水量的影响.对喷嘴加装了中心杆,对比了...
  • 作者: 张惠涛 李德才
    发表期刊: 2016年3期
    页码:  273-277
    摘要: 分瓣式磁性液体密封是本实验室研究的一项新密封技术,胶接面的密封是分瓣式磁性液体密封失效的主要因素之一.本文基于Volkersen剪滞模型理论,采用有限元分析的方法,对受法向和切向联合载荷作用...
  • 作者: 崔建东 崔航 徐大磊 徐晓强 徐瑶华 杜军
    发表期刊: 2016年3期
    页码:  278-283
    摘要: 运用非自耗真空电弧炉熔炼不同配比的Zrx VyFez吸气合金.对Zrx VyFez吸气合金粉末的相结构进行了X射线衍射分析.经过350℃保温2 h的激活工艺后,分别测试了Zrx VyFez吸...
  • 作者: 丁红燕 周广宏 方冬 王湘鸣
    发表期刊: 2016年3期
    页码:  284-290
    摘要: 采用磁控溅射法在316L不锈钢表面制备了具有不同调制结构的Ti/TiB2多层膜,研究了调制结构对Ti/TiB2多层膜在Hank's模拟体液中与超高分子聚乙烯配副的摩擦学行为的影响.结果表明:...
  • 作者: 余红雅 匡同春 周晟昊 曾德长 蒋春磊 赵升升
    发表期刊: 2016年3期
    页码:  291-295
    摘要: 采用电弧离子镀方法制备了不同厚度TiN薄膜,并对其硬度、结合力、残余应力、摩擦磨损特性等力学性能进行了系统性研究,以揭示硬质薄膜厚度对其力学性能的影响规律.结果表明,随着厚度增加,薄膜表面大...
  • 作者: 付秀华 刘冬梅 张静 潘永刚 胡建东 董军
    发表期刊: 2016年3期
    页码:  296-300
    摘要: TiBCN单相陶瓷粉末是一种刚问世的新型材料,该材料具有NaCl型面心立方(Fcc)结构,兼有陶瓷和金属特性.在真空状态下,当温度为1200℃时,利用热蒸发TiBCN粉末,在三氧化二铝(Al...
  • 作者: 娄长胜 张垒 芦馨 金光
    发表期刊: 2016年3期
    页码:  301-307
    摘要: 采用响应面设计方法对TiAlN涂层刀具强流脉冲电子束表面后处理工艺进行优化设计,结合回归统计建立硬质合金涂层刀具的表面粗糙度、硬度以及弹性模量数学模型.此外,分别对三个数学模型进行显著性分析...
  • 作者: 张一川 朱晓东 李唤 杨宽 王建龙
    发表期刊: 2016年3期
    页码:  308-311
    摘要: 本文开展了层流状态的直流等离子体炬在金属快速成形制造中应用研究.在放电电流70~80 A条件下,氩等离子体射流长度约为18 cm,而氮气作为工作气体时等离子体射流的长度明显高于氩气,可达40...
  • 作者: 刘金龙 化称意 李成明 赵云 郭建超 闫雄伯 陈良贤 魏俊俊
    发表期刊: 2016年3期
    页码:  312-318
    摘要: 直流电弧等离子体喷射法制备金刚石膜的过程中氩气主要起维持电弧放电作用,在一定程度上保证电弧放电的稳定性.本文利用自定义标量和自定义函数技术对FLUENT软件进行二次开发,在动量和能量守恒方程...
  • 作者: 郑少梅 郝国祥 陈启
    发表期刊: 2016年3期
    页码:  319-323
    摘要: 采用大尺寸铜质活性屏进行活性屏等离子渗氮处理,在距离活性屏不同位置处分别放置玻璃片,用来收集主电压和偏压同时存在时,即等离子空间处于双重辉光放电模式下阴极溅射产生的在渗氮过程中起到载体作用的...
  • 作者: 巴德纯 殷冀平 蔺增
    发表期刊: 2016年3期
    页码:  324-333
    摘要: 电子回旋共振波等离子体是依靠特殊的电磁波与电学各向异性材料相互作用来实现的,它被证明是一种适用于改进传统真空镀膜工艺的高效技术.与传统辉光等离子体放电系统相比,电子回旋共振波系统的特点是产生...
  • 作者: 刘冬 刘文鑫 李科 王勇
    发表期刊: 2016年3期
    页码:  334-339
    摘要: 为了提高折叠波导行波管的注-波互作用效率,本文提出了两类变形的折叠波导高频结构,分别是直波导长度渐变的折叠波导以及部分加载介质的折叠波导.前者又分为连续渐变和阶梯渐变两种结构,后者有两段式及...
  • 作者: 徐立 朱小芳 李斌 胡权 胡玉禄
    发表期刊: 2016年3期
    页码:  340-350
    摘要: 大功率微波输能窗是微波电子管、电子直线加速器、正负电子对撞机、等离子体加热等装置的关键部件之一,其性能直接影响到器件的工作带宽、功率容量、寿命和可靠性等性能,甚至研制的成败.本文总结了几种大...
  • 作者: 吕翔飞 朱登洁 李永祥 王迎春 耿铁 邓崎林
    发表期刊: 2016年3期
    页码:  351-356
    摘要: 羟基磷灰石等生物陶瓷材料具有优良的生物相容性和生物活性,但其强度较低的力学性能限制了其广泛应用.在综合力学性能优良,生物活性有限的医用钛合金表面制备生物陶瓷涂层,能够扬长避短,充分发挥二者的...
  • 作者: 任学明 李金泽 沈鸿烈
    发表期刊: 2016年3期
    页码:  357-361
    摘要: 用先磁控溅射多层金属膜预置层后硫化的方法成功制备出CZGex T1-x S薄膜,并主要研究了Ge含量对于该薄膜光电学性能的影响.分别采用X射线衍射仪、X射线能量色散谱仪、拉曼光谱仪、扫描电子...
  • 作者: 仉乐 吴雯婷 梁忠诚
    发表期刊: 2016年3期
    页码:  362-366
    摘要: 要充分理解并利用微流体系统中流体的流动,需要对流体的动态特性有全面的了解.目前,流感与流阻的计算已经被大家熟知,可流容的计算仍是一个难点.本文设计了一个微流体流容器件,提出了测量微流体系统流...

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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