真空科学与技术学报期刊
出版文献量(篇)
4084
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总被引数(次)
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名: 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊,长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录,已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅,有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿,已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位:
中国真空学会
ISSN:
1672-7126
CN:
11-5177/TB
出版周期:
月刊
邮编:
100022
地址:
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
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19905
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  • 作者: 乌李瑛 付学成 权雪玲 王英 瞿敏妮
    发表期刊: 2019年10期
    页码:  896-900
    摘要: 制备低应力的氮化硅薄膜是微机械系统和集成电路中非常重要的工艺.在温度不高于80℃的条件下,采用ICP-CVD设备,利用硅烷和氮气作为前驱体沉积氮化硅介质薄膜.研究了沉积温度、ICP功率、硅烷...
  • 作者: 曹明 林继兴 赵岚
    发表期刊: 2019年10期
    页码:  901-906
    摘要: 采用磁控射频(RF)与磁控直流(DC)分别溅射金属铝靶,制备了润滑RF-Al-Ti/MoS2和DC-Al-Ti/MoS2复合涂层,并在真空条件下对制备涂层进行热处理以提高涂层耐磨损性能.结果...
  • 作者: 张华 张振忠 李凌瀚 武杨 武黎明
    发表期刊: 2019年10期
    页码:  907-911
    摘要: 针对含纳米红色硒粉抗菌保健不锈钢餐具的开发问题,为制备高分散性和悬浮稳定性的纳米硒粉,本文在测定纳米硒粉在乙二醇介质中pH-zeta电位图的基础上,选用CTAB、PVP、PEG-2000和S...
  • 作者: 安立宝 贾晓彤 陈韬
    发表期刊: 2019年10期
    页码:  912-917
    摘要: 研究本征碳纳米管、单空位缺陷碳纳米管、Mn掺杂碳纳米管和Mn掺杂单空位缺陷碳纳米管对NH3分子的吸附效果.采用基于密度泛函理论的第一性原理方法,对各个模型的吸附能、吸附距离、电荷转移量、电子...
  • 作者: 孟伟 李得天 谷增杰 郭立新 陈凯
    发表期刊: 2019年10期
    页码:  918-926
    摘要: 胶体推力器是一种静电式推力器,具有比冲高、可控精度高等优点,在微小卫星的姿态控制、轨道转移等领域具有广泛的应用前景.目前国内对胶体推力器的研究还不够成熟,尚处于起步阶段.简述了胶体推力器的结...
  • 作者: 李明阳 李道杰 步超远 段大伟 王玉亮 聂坤坤 赵晓翔 陈士娟
    发表期刊: 2019年10期
    页码:  927-931
    摘要: 本文采取4因子4水平田口设计,用等离子体增强化学气相沉积法制备了沉积在白玻璃上的单层N+ A-SI∶H薄膜,测试了薄膜的应力,膜厚,折射率,透过率,及SI-H/N-H键含量,综合评价不同参数...
  • 作者: 刘永姜 吴维粱 曹一明 许向川
    发表期刊: 2019年10期
    页码:  932-936
    摘要: 为探索研究微量油膜附水滴(Oils on Water,OoW)技术在切削中对表面粗糙度的影响,选出较适宜的切削用量,通过进行浇注乳化液和OoW切削液的切削工件表面粗糙度对比试验,分析了两种切...
  • 作者: 任永聪 林雪莹 梁竞鹏 王晓如 鲁圣国 黄美林
    发表期刊: 2019年11期
    页码:  937-943
    摘要: 本文利用直流磁控溅射法在丙纶无纺布基底沉积铜、不锈钢及氧化铜薄膜,研究了本底真空度、工作气体流量、溅射功率、工作气压等溅射工艺参数对薄膜沉积速率、薄膜厚度和表面形貌的影响规律,测试了镀膜前后...
  • 作者: 丁开忠 余朝举 卢禹 叶斌 吴杰峰 周能涛 朱志刚 林力 胡春明 郑永培
    发表期刊: 2019年11期
    页码:  944-949
    摘要: 中子慢化器低温及真空性能测试系统,用于验证中国散裂中子源氢慢化器的低温性能和真空密封性.此套系统由供液系统、气体加热系统、流量控制系统、温度与压力监测系统组成,采用液氮替代液氢作为测试介质,...
  • 作者: 张克锐 李庆领 王传伟 贾文广
    发表期刊: 2019年11期
    页码:  950-957
    摘要: 为了探究真空管道高速列车气动噪声随着列车运行马赫数变化的分布规律,本文对真空管道交通(VTT)系统内高速列车气动噪声的研究主要采用理论研究和数值模拟相结合的方法.采用基于Lighthill声...
  • 作者: 冯琪 周雪茜 喻新发 潘颖 窦仁超 闫荣鑫
    发表期刊: 2019年11期
    页码:  958-963
    摘要: 航天器推进系统、热控系统、环控系统及流体回路系统有严格的泄漏指标要求,基于质谱分析的检漏方法存在本底信号干扰及重复性较差等难点,建立了工质原位检漏方法的理论模型,分析了质谱室直接进样与分流进...
  • 作者: 赵洁莲 韩延民
    发表期刊: 2019年11期
    页码:  964-968
    摘要: 低温多效海水淡化装置的蒸发温度不高于70℃,设备需在真空环境下运行,因此,真空度的保持是整个系统稳定运行的重要保障.本文对海水淡化系统中不凝气体析出量、空气泄漏量以及携带蒸汽量等参数的传统计...
  • 作者: 刘萍 李玉龙 臧勇 范钧 陈莹
    发表期刊: 2019年11期
    页码:  969-973
    摘要: 为降低共轭泄漏和缓解转子的动不平衡,提出一款新的抛物线转子.基于抛物线的成形原理,从几何关系、理论型线、实际型线、取值上限、坐标方程和参数化模型等6个方面展开研究;其次,以节圆半径和形状系数...
  • 作者: 尚新文 易红霞 曹林林 李延威 李联炳 李飞 肖刘 陈之亮
    发表期刊: 2019年11期
    页码:  974-979
    摘要: 在空间行波管的设计中,改善输能结构的阻抗匹配是一项十分重要的工作.然而对于螺旋线行波管输能系统这样具有复杂边界条件的结构,严格的场分析会带来复杂的计算,如果能将场问题转化为电路问题,求解过程...
  • 作者: 于永强 张倩 许高斌 陈兴 陈诚 马渊明
    发表期刊: 2019年11期
    页码:  980-988
    摘要: 微谐振式压力传感器因其体积小、精度高等特点而被广泛研究,本文基于谐振器在不同压力载荷下侧向振动时其等效刚度随轴向应力的改变而变化的原理,设计了一种静电激励/电容检测的谐振式压力传感器.本设计...
  • 作者: 何俊 曹林林 王建
    发表期刊: 2019年11期
    页码:  989-993
    摘要: 根据行波管包装后尺寸公差的特点,设计了螺纹转接模具,编写了三坐标自动测量程序,设置了合理的测量步骤、逼近和回退距离,测量出了输入与输出装置的距离、行波管包装底板与输出波导的高度差、平行度和特...
  • 作者: 乔双 姜瀚 张天 曲婉菊
    发表期刊: 2019年11期
    页码:  994-998
    摘要: 国外射频离子源中子管的中子产额已经达到1014 n/s,明显优于潘宁源中子管.为了深入了解用于中子管射频离子源的放电特性,从射频感应耦合等离子体的放电原理入手,建立用于氢气放电模拟研究的理论...
  • 作者: 李宏鑫 李雪琴 沙润东 王君 陈志凯
    发表期刊: 2019年11期
    页码:  999-1004
    摘要: 滑片式真空泵的排气量偏小、抽气速率低限制了其应用场合.本文利用正弦螺旋线提出了一种新型的三腔滑片式真空泵,并对其工作性能进行了理论与试验研究等几何尺寸下,三腔滑片式真空泵相比双腔简谐结构形式...
  • 作者: 常志华 梁志礼
    发表期刊: 2019年11期
    页码:  1005-1009
    摘要: 利用冷喷涂技术在暖通用6061铝合金表面依次制备Ni基打底涂层,CoCrTaAlY和PEO涂层,并进行组织和耐热以及腐蚀性能测试分析,研究结果表明:CoCrTaAlY层形成了众多密实堆积颗粒...
  • 作者: 夏永昭 孙海韵 汪永 许本海 邢献军 马培勇
    发表期刊: 2019年11期
    页码:  1010-1016
    摘要: 自制磨料磨损试验机对环模材料4Cr13试样进行磨损试验,利用单因素试验和正交试验探究了橡胶轮转速、压力以及磨料粒径对4Cr13试样磨损量的影响规律和影响程度.采用等离子喷焊技术在4Cr13试...
  • 作者: 刘伟 王利双
    发表期刊: 2019年11期
    页码:  1017-1020
    摘要: 采用离子束辅助沉积方法在95%(质量比)Al2O3基板上制备Cu薄膜,利用热氧化法使Cu薄膜氧化,并与Al2O3基板反应,制备出CuAl2O4薄膜.通过X射线衍射仪、扫描电子显微镜、能谱仪和...
  • 作者: 刘瑞煌 张继魁 时家明 王航 赵大鹏 陈宗胜
    发表期刊: 2019年11期
    页码:  1021-1026
    摘要: 为了降低热隐身薄膜在可见光探测下的显著性,研究了低光泽度热隐身光子晶体薄膜的设计和制备问题.首先分析了影响光子晶体热隐身薄膜光泽度的因素,然后从基底的粗糙度,可见光波段平均反射率,以及合适的...
  • 作者: 崔成和 胡毅 高霄雁
    发表期刊: 2019年11期
    页码:  1027-1032
    摘要: 直流辉光放电清洗的主要作用是去除HL-2A装置内的低Z杂质C、O,以及放电期间所产生的残余气体和杂质.介绍了直流辉光放电自动调节控制系统.在辉光放电过程中,实现了真空室工作气体气压和放电电压...
  • 作者: 冷爽 刘芮彤 廖敏夫 李旭彬 邹积岩 黄智慧
    发表期刊: 2019年11期
    页码:  1033-1038
    摘要: 真空开关的零区鞘层仿真研究对于深入了解其弧后介质恢复过程具有重要意义.本文采用PIC-MCC模型,研究小电流开断情况下的真空开关弧后鞘层发展过程.通过仿真得到了鞘层发展阶段的粒子空间分布、密...
  • 作者: 刘晓婷 胡毓龙 董杰 金哲山 霍建宾
    发表期刊: 2019年11期
    页码:  1039-1042
    摘要: 等离子体增强型化学气相沉积法(PECVD)设备具有高真空特点,容易发生漏气(Leak)事故,为预防事故发生,对PECVD腔室构造、成膜原理及过程进行深入分析.从原理上检讨通过光谱分析方法在线...
  • 作者: 李扬 杜少杰
    发表期刊: 2019年11期
    页码:  1043-1046
    摘要: 采用脉冲电流方法处理Ti-44.5Al-3Nb-0.8Si合金熔体的凝固过程,并测试不同脉冲电流条件下合金凝固组织性能,对组织结构的变化过程进行了深入分析.实验结果表明:当电流密度与频率都升...
  • 作者: 孙金风 李志成 胡永凉 胡龙
    发表期刊: 2019年12期
    页码:  1047-1053
    摘要: 真空界面阀作为真空排污系统的核心部件,作用是在非工作状态下把真空管道内真空与外界大气阻隔开,在工作状态下阀体打开利用负压将污物抽走,设计一款可靠、实用的真空界面阀对整个真空排污系统非要重要,...
  • 作者: 任正宜 吴成耀 张世伟 成永军 李海涛 郭美如
    发表期刊: 2019年12期
    页码:  1054-1060
    摘要: 基于真空泵发展的实际需求,本文对真空泵微小抽速测试方法的研究现状与进展进行全面论述.首先,从三种常用的测试方法(流量计法、定容法和动态流导法)具体展开.通过回顾国内外学者的典型应用案例,分别...
  • 作者: 刘明昆 刘星洲 干蜀毅 柴晓彤 汪亮
    发表期刊: 2019年12期
    页码:  1061-1066
    摘要: 针对目前发展较为成熟的单头转子型线动不平衡问题,提出了一种将单头转子型线变为双头对称型线的方法.总结了该方法所适用的单头转子型线所需满足的条件,并用数学方法证明了所得到的双头型线能够正确啮合...
  • 作者: 孙伟 孙立臣 孟冬辉 毕海林 王旭迪 花雨
    发表期刊: 2019年12期
    页码:  1067-1071
    摘要: 密封性能在保证空间站正常运行中极其重要.本文针对空间站运行过程中可能发生的舱外氨气泄漏,建立了太空真空环境中气体分子运动的物理模型,运用直接蒙特卡洛模拟方法对泄漏到太空中的气体羽流场进行数值...

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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