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摘要:
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磁透镜技术及其在沉积金刚石/类金刚石薄膜中的应用
磁透镜技术
金刚石沉积膜
类金刚石沉积膜
金刚石薄膜的研究进展
金刚石薄膜
合成方法
成核机理
影响因素
应用领域
甲烷流量对高掺硼金刚石多晶薄膜形态生长的影响
掺硼金刚石
热丝CVD
扫描电子显微镜
拉曼光谱
基于第一性原理方法研究基团在CVD金刚石薄膜(001)表面上的生长
第一性原理
CVD金刚石薄膜
基团
生长机理
吸附演变
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 金刚石薄膜的生长及其机理
来源期刊 上海科技大学学报 学科 工学
关键词 金刚石 汽相沉积 动力学 石墨
年,卷(期) 1990,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 81-86
页数 6页 分类号 TQ164.8
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1990(0)
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研究主题发展历程
节点文献
金刚石
汽相沉积
动力学
石墨
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
上海科技大学学报
季刊
0258-7041
31-1435/N
上海市嘉定城中路20号
出版文献量(篇)
370
总下载数(次)
2
总被引数(次)
0
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