燃烧火焰法合成金刚石薄膜

• 作者: 王万录 高锦英
• 来源期刊: 薄膜科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石薄膜 燃烧火焰法 生长速率
• 年，卷（期）: 1991,（4）
• 页码范围: 8-12
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.18

摘要

本文给出了利用氧一乙炔燃烧火焰在Si(111)衬底上高速率（-80um/h)生长金刚石薄膜的方法，对合成的金刚石薄膜进行了扫描电子显微镜、Raman光谱和X-光衍射分析，并对其结果进行了简要的讨论。实验研究表明这种方法是可行的，且设备简单，成本低廉。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高锦英	兰州大学物理系	2	1	1.0	1.0
2	王万录	兰州大学物理系	1	0	0.0	0.0