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VLSI／ULSI制造中的SOG材料与平坦化技术
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期刊影响力
电子材料（机电部）
主办单位：
电子工业部科技情报所
出版周期：
月刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
北京750信箱21分箱
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
356
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