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磁控溅射制备纳米厚度连续金膜
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表面粗糙度
纳米Au膜
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Cr-N薄膜
相结构
磁控溅射
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期刊影响力
薄膜科学与技术
主办单位：
南京电子器件研究所
出版周期：
双月刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
南京1601信箱43分箱
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
327
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