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摘要:
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甲烷浓度对金刚石膜表面形貌及其热导率的影响
甲烷
金刚石膜
表面形貌
热导率
金刚石膜介电性能影响因素的研究
金刚石
自支撑金刚石膜
杂质
介电性能
直流电弧等离子喷射法沉积大面积金刚石厚膜的研究
直流电弧等离子喷射
CVD
自支撑金刚石厚膜
金刚石膜的六十项性状指标和百项相关成膜因素
化学气相沉积
金刚石膜
性状指标
成膜因素
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 基片表面磁场对倾斜焰沉积金刚石膜质量及成膜面积的影响
来源期刊 薄膜科学与技术 学科 工学
关键词 金刚石薄膜 磁场 倾斜焰沉积 成膜面积
年,卷(期) 1994,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 155-158
页数 4页 分类号 TN304.180
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DOI
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1994(0)
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研究主题发展历程
节点文献
金刚石薄膜
磁场
倾斜焰沉积
成膜面积
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
薄膜科学与技术
双月刊
南京1601信箱43分箱
出版文献量(篇)
327
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