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文献信息
篇名 单室磁控溅射设备中平面磁控靶的反应溅射实验研究
来源期刊 四川真空 学科 工学
关键词 反应溅射 溅射镀膜 真空镀膜 平面磁控靶
年,卷(期) 1994,(3) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 12-14
页数 3页 分类号 TN305.92
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研究主题发展历程
节点文献
反应溅射
溅射镀膜
真空镀膜
平面磁控靶
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
四川真空
半年刊
成都市第109信箱207分箱
出版文献量(篇)
395
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1
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