PZT薄膜的晶格常数与其厚度的关系

• 作者: 刘保亭 李超荣
• 来源期刊: 北京同步辐射装置年报
• 学科: 工学
• 关键词: PZT薄膜 晶格常数 厚度 铁电薄膜 X射线衍射
• 年，卷（期）: bjtbfszznb,（1）
• 页码范围: 62-63
• 页数: 2页
• 分类号: TM223

摘要

对磁控溅射法在YBa2Cu3O7-δ缓冲层及SrTiO3(001）衬底上生长的Pb(Zr0.52Ti0.48）O3薄膜材料，应用X射线散射倒空间作图法研究了薄膜在垂直（a⊥）和平行（a||）于表面方向的晶格常数与其厚度的关系。研究结果表明，随着PZT厚度的增加，a⊥增加，而a||减小。这种晶格常数的变化，不能用一般的薄膜弹性畸变来解释，我们归结为晶体的尺寸效应起了很大的作用。X射线衍射的测量结果表明，随着PZT厚度的增加，其晶粒尺寸也增加。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李超荣		30	159	6.0	12.0