金刚石薄膜-金属接触的SEM和XRD研究

• 作者: 杨邦朝 贾宇明
• 来源期刊: 电子显微学报
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石薄膜 金属接触 界面热处理 浸润
• 年，卷（期）: 1998,（2）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 0
• 页数: 1页
• 分类号: TQ32
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-6281.1998.02.015

摘要

用SEM和XRD研究了金刚石薄膜与双层金属之间的接触及界面性质.采用微波等离子体CVD方法在Si(111)基片上淀积了掺硼金刚石薄膜,然后蒸发上Ti/Au金属层,在氩保护气氛下700℃热处理50min后获得了一个线性的电流-电压特性.经SEM和XRD实验结果表明,Ti/Au金属与金刚石薄膜之间优良的接触性能的获得,显然是由于在金刚石薄膜-Ti/Au界面处产生了TiC新相以及TiC的浸润性质的缘故.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨邦朝		253	3422	31.0	49.0
2	贾宇明		14	70	3.0	8.0