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IC制造中的真实缺陷轮廓表征方法研究
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摘要：
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主办单位：
中国电子学会
出版周期：
月刊
ISSN：
0372-2112
CN：
11-2087/TN
开本：
大16开
出版地：
北京165信箱
邮发代号：
2-891
创刊时间：
1962
语种：
chi
出版文献量（篇）
11181
总下载数（次）
11
总被引数（次）
206555
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