IC真实缺陷的骨架提取方法

• 作者: 王俊平 荆明娥 郝跃
• 来源期刊: 西安电子科技大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 集成电路缺陷表征 LS空间聚类 数学形态学滤波 骨架提取
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 页码范围: 206-209
• 页数: 4页
• 分类号: TN405
• 字数: 1911字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2400.2005.02.010

摘要

在集成电路制造中,光刻工艺(尤其是工艺引入的缺陷)直接影响生产的成品率.光刻工艺涉及的缺陷形状多种多样,提取缺陷并将之分类对于 提高电路制造成品率是重要的.由于缺陷的骨架是描述缺陷形状及识别缺陷的重要特征,故 提出一种集成电路真实缺陷骨架的提取方法,通过定义LS空间的特征值聚类分割集成电路彩 色图像,使用小波分解分割集成电路灰度图像,然后基于数学形态学方法滤除分割图像的噪 音并提取出缺陷的骨架.实验结果表明该方法使集成电路真实缺陷形状描述简单,从而为缺陷检测与分类提供了准确的依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郝跃	西安电子科技大学微电子研究所	312	1866	17.0	25.0
2	王俊平	西安电子科技大学微电子研究所	31	284	10.0	16.0
6	荆明娥	西安电子科技大学微电子研究所	10	44	4.0	6.0