真实缺陷的矩形模型及其关键面积计算

• 作者: 王俊平 郝跃
• 来源期刊: 电子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 真实缺陷 缺陷的矩形模型 关键面积模型 成品率
• 年，卷（期）: 2006,（11）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 1974-1977
• 页数: 4页
• 分类号: TN405
• 字数: 2111字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0372-2112.2006.11.009

摘要

在集成电路(IC)中,为了进行有效的成品率估计和故障分析,与光刻有关的缺陷形状通常假设为圆模型.然而,真实缺陷的形状多种多样.本文提出一种真实缺陷的矩形模型及与之相关的关键面积计算模型,该模型既考虑了真实缺陷的形状又考虑了IC版图布线的特点.在缺陷引起故障概率预测方面,仿真结果表明新模型比圆模型更接近真实缺陷引起的故障概率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郝跃	西安电子科技大学微电子研究所	312	1866	17.0	25.0
2	王俊平	西安电子科技大学微电子研究所	31	284	10.0	16.0