提取带权关键面积的新算法

• 作者: 任春丽 张会宁 张晓菊 王俊平 郝跃
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 桥形故障 矩形缺陷模型 版图分析 数学形态学
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 24-29
• 页数: 6页
• 分类号: TN43
• 字数: 1282字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2006.01.006

摘要

导体故障分析是一种列举与缺陷有关的集成电路版图中可能出现桥连的技术,计算带权关键面积是限制其性能的主要因素.文中提出了一种基于数学形态学和真实缺陷矩形模型提取带权关键面积的新算法,该算法不需要将版图上的线网拆分为矩形,也不需要合并矩形对的带权关键面积.实验结果验证了新算法的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郝跃	西安电子科技大学微电子学院宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室	312	1866	17.0	25.0
2	张晓菊	西安电子科技大学微电子学院宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室	11	35	4.0	5.0
3	张会宁	西安电子科技大学微电子学院宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室	9	90	5.0	9.0
4	任春丽	西安电子科技大学微电子学院宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室	16	17	2.0	4.0
5	王俊平	西安电子科技大学微电子学院宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室	31	284	10.0	16.0