基于LS空间的IC真实缺陷图像的分割

• 作者: 王俊平 郝跃
• 来源期刊: 电子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 真实缺陷 图像分割 明度 饱和度 LS空间聚类 分段线性判别函数
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 科研通信
• 页码范围: 954-956
• 页数: 3页
• 分类号: TN405
• 字数: 2378字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0372-2112.2005.05.040

摘要

在对集成电路(IC)真实缺陷进行分类与识别时,IC缺陷图像分割是非常重要的一步.本文提出一种新的IC缺陷图像分割方法.该方法首先将IC缺陷图像由RGB空间转换到HLS空间,然后根据IC缺陷图像背景像素的L及S值的分布,设计LS空间上的分段线性判别函数及聚类准则,最后由聚类准则完成IC真实缺陷图像的分割.实验结果表明,本文方法不仅可分割背景一致的IC图像,而且对背景不一致的图像也可获得满意的分割效果.从而为真实缺陷的分类与识别奠定了可靠基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郝跃	西安电子科技大学微电子研究所	312	1866	17.0	25.0
2	王俊平	西安电子科技大学微电子研究所	31	284	10.0	16.0