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a-C:H(N)薄膜的制备及性能
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摘要：
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基于动力学标度法的a-C:H薄膜表面微观形貌的演变机理研究
a-C:H薄膜
表面粗糙度
分形维数
原子力显微镜
扫描电子显微镜
离子源功率对a-C:H(Al)薄膜结构及性能的影响
类金刚石薄膜
a-C
H(Al)薄膜
中频磁控溅射
离子源功率
结合强度
摩擦学力学性能
a-C:N:H纳米尖端荧光产生的机理
a-C:N:H 纳米尖端
Ranum 光谱
荧光
占空比对微球a-C:H薄膜制备的影响
微球
a-C
H薄膜
粗糙度
壁厚均匀性
内容分析
关键词云
关键词热度
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期刊影响力
无机材料学报
主办单位：
中国科学院上海硅酸盐研究所
出版周期：
月刊
ISSN：
1000-324X
CN：
31-1363/TQ
开本：
16开
出版地：
上海市定西路1295号
邮发代号：
4-504
创刊时间：
1986
语种：
chi
出版文献量（篇）
4760
总下载数（次）
8
总被引数（次）
61689
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