气相合成金刚石薄膜的成核习性研究

• 作者: 张伟 高军
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 化学气相沉积法 燃烧焰 金刚石薄膜 成核
• 年，卷（期）: 1999,（3）
• 页码范围: 275-278
• 页数: 4页
• 分类号: O782.3
• 字数: 1231字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.1999.03.013

摘要

本文采用燃烧焰法观察金刚石薄膜的成核生长过程.分析了衬底表面刻划及油污处理等因素对金刚石成核的影响.观察到成核初期的金刚石不具有明显晶形,含有较高的石墨相.XRD谱表明:成核初期衬底表面形成非金刚石结构的过渡层.并提出了控制成核密度提高沉积质量的思想.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张伟	哈尔滨工业大学航天学院	281	3078	27.0	38.0