金刚石薄膜的ECR CVD及分形现象研究

• 作者: 张阳 杨新武 陈光华
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 金刚石薄膜 ECR CVD法 分形 DLA模型
• 年，卷（期）: 1999,（1）
• 页码范围: 69-73
• 页数: 5页
• 分类号: O484.1
• 字数: 2170字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.1999.01.014

摘要

用ECR CVD(电子回旋共振化学气相沉积)方法沉积出了多晶金刚石薄膜,测量了薄膜的Raman散射谱、X射线衍射谱和SEM.生长条件是:V(CH4)/V(H2)=4%,气体总流量是150sccm,反应压力是0.1Pa,微波功率是700W,衬底偏压是-150V.发现了在金刚石薄膜沉积初期阶段的分形生长现象,用DLA模型解释了其分形生长机制,用Monte Carlo方法对其生长过程进行了计算机模拟,理论与实验结果相符.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨新武	北京工业大学应用物理系	16	111	6.0	10.0
2	张阳	北京工业大学应用物理系	9	48	4.0	6.0
3	陈光华	北京工业大学应用物理系	65	396	11.0	16.0