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摘要:
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Lock-in用于无损显微分层内窥透视集成电路法
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半导体
集成电路
可靠性测试
数据处理
半导体及集成电路工艺加工设备的调研与采购
调研与采购
需求
设备费用
技术能力
服务与技术支持
商务模式
采购规格书
内容分析
关键词云
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文献信息
篇名 半导体和集成电路无损显微分层内窥的新方法
来源期刊 电子显微学报 学科 工学
关键词
年,卷(期) 2000,(4) 所属期刊栏目 材料科学
研究方向 页码范围 585-586
页数 2页 分类号 TB3
字数 1335字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1000-6281.2000.04.097
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 李萍 16 102 6.0 9.0
2 王建 云南大学物理系 10 29 3.0 5.0
3 肖玲 云南大学物理系 6 13 3.0 3.0
4 梁竹关 云南大学物理系 14 18 3.0 3.0
5 周开邻 云南大学物理系 9 22 3.0 4.0
6 胡问国 云南大学物理系 7 15 3.0 3.0
7 李亚文 10 31 4.0 5.0
8 徐晓华 6 13 3.0 3.0
传播情况
(/次)
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引文网络
引文网络
二级参考文献  (0)
共引文献  (1)
参考文献  (1)
节点文献
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同被引文献  (2)
二级引证文献  (3)
1998(1)
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2000(0)
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2001(1)
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2009(4)
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2019(3)
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
电子显微学报
双月刊
1000-6281
11-2295/TN
大16开
北京中关村北二条13号(北京2724信箱)
1982
chi
出版文献量(篇)
3728
总下载数(次)
3
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
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