两步激光晶化法制备多晶硅薄膜晶体管

• 作者: 徐重阳 戴永兵 曾祥斌 王长安
• 来源期刊: 华中理工大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅薄膜 薄膜晶体管 激光晶化 拉曼光谱
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 页码范围: 93-95
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.055
• 字数: 1961字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1671-4512.2000.03.033

摘要

采用两步激光晶化方法制备了多晶硅薄膜,其晶粒尺寸达到1.1 μm.分析了在不同激光功率密度下,由两步激光晶化方法所制备的多晶硅薄膜的拉曼光谱.测量了相应薄膜晶体管的转移特性和输入输出特性,由此得出薄膜晶体管的迁移率为103 cm2/(V.s),ION/IOFF 为106,分别是传统单步晶化制备的薄膜晶体管的2.5倍和11倍.分析了两步晶化方法扩大晶粒尺寸的微观机理.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐重阳	华中理工大学电子科学与技术系	33	239	9.0	14.0
2	曾祥斌	华中理工大学电子科学与技术系	8	34	3.0	5.0
3	戴永兵	华中理工大学电子科学与技术系	4	21	3.0	4.0
4	王长安	华中理工大学电子科学与技术系	7	32	3.0	5.0