柔性衬底ITO膜的性质与制备参数关系的研究

• 作者: 叶丽娜 杨志伟 杨田林 韩圣浩 韩锡贵 马洪磊
• 来源期刊: 太阳能学报
• 学科: 工学
• 关键词: ITO 光电性质 溅射
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 页码范围: 256-261
• 页数: 6页
• 分类号: TK511+*4
• 字数: 4462字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-0096.2001.03.004

摘要

用偏压磁控溅射法在水冷PPA(Polypropylene Ad ipate)聚脂胶片上制备了性能优良的ITO(Indium Tin Oxide)透明导电膜,对薄膜的光电性质进行了研究.制备样品的相对透过率为80%左右、最小电阻率为6.3×10-4Ω cm,与衬底附着良好.当衬底负偏压为40V时,晶粒平均尺寸最大为55nm,相应地自由载流子霍耳迁移率有最大值为89.3cm2/Vs,薄膜的电阻率有最小值.X射线衍射表明薄膜为多晶纤锌矿结构,垂直于衬底的C轴具有[222]方向的择优取向,随衬底负偏压的增大, 沿[400]方向生长的晶相减少.最佳衬底负偏压取值范围为20～40V.XPS分析表明随衬底负偏压的增大,薄膜中的氧空位浓度最大,自由载流子浓度有所增大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马洪磊	山东大学光电材料研究所	58	681	15.0	23.0
2	韩圣浩	山东大学光电材料研究所	28	181	8.0	12.0
3	杨志伟	山东大学光电材料研究所	9	104	5.0	9.0
4	叶丽娜	山东大学光电材料研究所	7	112	5.0	7.0
5	杨田林		3	29	1.0	3.0
6	韩锡贵	山东省科学院测试中心	1	29	1.0	1.0