基于惯性-摩擦原理的PZT驱动四自由度微驱动器的研究

• 作者: 丁国清 迟冬祥 颜国正
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 惯性 压电陶瓷 微驱动器
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 所属期刊栏目: 微纳技术
• 页码范围: 135-138
• 页数: 4页
• 分类号: TP242
• 字数: 2628字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2001.02.008

摘要

提出了一种由PZT驱动、基于惯性-摩擦原理的四自由度驱动器方案,在原理实验的基础上制作了四自由度驱动器的原型,并讨论了这一微驱动器的运动特点。实验证明:这一原理应用于微驱动器是可行的。压电陶瓷的通电频率处于0Hz～30000Hz时微驱动器的运动是线性可控的。同时,也讨论了驱动器设计中应该注意的问题及其未来的研究方向。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	迟冬祥	上海交通大学电子信息学院精密工程及智能微系统研究所	10	267	8.0	10.0
2	颜国正	上海交通大学电子信息学院精密工程及智能微系统研究所	340	4219	33.0	49.0
3	丁国清	上海交通大学电子信息学院精密工程及智能微系统研究所	118	1385	19.0	32.0