射频磁控溅射法制备(Ba0.7Sro.3)TiO3铁电薄膜

• 作者: 刘世建 史济群 徐重阳 曾祥斌 王长安 赵伯芳
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 射频磁控溅射法 BST铁电薄膜 相对介电常数-温度曲线 居里温度
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 所属期刊栏目: 单晶.薄膜及其他功能材料
• 页码范围: 293-295
• 页数: 3页
• 分类号: TN384
• 字数: 1934字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2001.04.014

摘要

采用射频磁控溅射法制备了用于非致冷红外焦平面阵列的(Ba0.7Sr0.3)TiO3(BST)铁电薄膜.研究了BST铁电薄膜的制备工艺,分析了BST铁电薄膜的晶体结构和微观形貌.测试了其介电特性,测得的相对介电常数-温度曲线表明制备的(Ba0.7S0.3)TiO3铁电薄膜的居里温度在室温附近,约30°c处.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐重阳	华中科技大学电子科学与技术系	85	592	12.0	19.0
2	曾祥斌	华中科技大学电子科学与技术系	45	285	10.0	14.0
3	王长安	华中科技大学电子科学与技术系	23	163	7.0	11.0
4	赵伯芳	华中科技大学电子科学与技术系	11	38	4.0	6.0
5	史济群	华中科技大学电子科学与技术系	4	22	3.0	4.0
6	刘世建	华中科技大学电子科学与技术系	5	62	4.0	5.0