镍薄膜电阻作为多功能传感器的温度敏感元件

• 作者: 刘晓为 王喜莲 王蔚 马战
• 来源期刊: 哈尔滨工业大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 镍薄膜电阻 温度敏感元件 多功能传感器
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 页码范围: 375-377
• 页数: 3页
• 分类号: TN379
• 字数: 2057字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0367-6234.2001.03.028

摘要

为解决铝薄膜和银薄膜电阻率小、热敏电阻灵敏度低、耐腐蚀性差、工作温度低等问题,提出镍薄膜电阻可以作为温度敏感元件集成在压力传感器上.对镍薄膜热敏电阻的制备方法、温度敏感特性进行了分析与实验研究,并将其集成在耐高温压力传感器上,对制备的压力-温度多功能传感器进行了测试.结果表明传感器可在室温至200℃温度范围工作并达到较高精度,可以推广使用.

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1	马战		1	20	1.0	1.0