制备长波段X射线多层膜的新方法

• 作者: 曹健林 王国田 王当笠 马月英
• 来源期刊: 应用光学
• 学科: 物理学
• 关键词: 软X射线多层膜 离子束溅射 反射率计
• 年，卷（期）: 2001,（6）
• 所属期刊栏目: 薄膜光学
• 页码范围: 34-39
• 页数: 6页
• 分类号: O484.4+1-32
• 字数: 3197字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-2082.2001.06.010

摘要

叙述用离子束溅射镀膜机OXFORD进行X射线长波段多层膜实验及制备X射线多层膜光学元件方面的工作.简述离子束溅射镀膜机的工作原理 ,X射线多层膜的制备过程,主要工艺参数,以及用X射线小角衍射仪对制备样品周期结构的检测和用软X射线反射率计测反射率的部分结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马月英	中科院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室	2	3	1.0	1.0
2	曹健林	中科院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室	2	10	2.0	2.0
3	王国田	中科院上海技术物理研究所光电中心	1	3	1.0	1.0
4	王当笠	中科院上海技术物理研究所光电中心	1	3	1.0	1.0