臭氧在热反应蒸发法低温制备透明导电薄膜IMO中的作用

• 作者: 华中一 孟扬 杨锡良 沈杰 章壮健 蒋益明 陈华仙
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 透明导电薄膜 掺钼氧化铟 反应蒸发 臭氧
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 259-262，268
• 页数: 5页
• 分类号: O484.1
• 字数: 3401字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2001.04.001

摘要

虽然采用常规的热反应蒸发法就可以在约350 ℃的玻璃基底上制备出性能优良的In2O3∶Mo(IMO)薄膜,但是随着基底温度的降低,IMO薄膜的电导率和可见光透射比都迅速减小.通过高频放电在反应气体中加入O3后,可以在室温下将In充分氧化成In2O3,极大地改善了IMO薄膜的透明性.而且,IMO薄膜的结晶程度也得到了小幅度提高,这有利于提高薄膜电导率.在不加热基底的情况下(约30℃),制备的约400 nm厚的IMO薄膜的电阻率小于5×10-2Ω*cm;在基底温度为100 ℃时电阻率可以小于2×10-3Ω*cm;同时它们在可见光区域的总平均透射比(含1.2 mm厚载玻片基底)都超过0.8.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈杰	复旦大学材料科学系	79	645	12.0	22.0
2	华中一	复旦大学材料科学系	51	348	11.0	15.0
3	杨锡良	复旦大学材料科学系	22	512	13.0	22.0
4	章壮健	复旦大学材料科学系	41	667	16.0	24.0
5	孟扬	复旦大学材料科学系	6	180	5.0	6.0
6	陈华仙	复旦大学材料科学系	5	181	5.0	5.0
7	蒋益明	复旦大学材料科学系	45	486	11.0	21.0