气相合成SnO2超微粒薄膜研究

• 作者: 滕月莉 潘孝仁 王亮兴 贺黎明 陆慧
• 来源期刊: 化学物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: SnO2 超微粒薄膜 结构
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 页码范围: 469-473
• 页数: 5页
• 分类号: O484.4
• 字数: 2344字
• 语种: 英文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-0068.2001.04.014

摘要

用直流气体放电活化反应蒸发法在玻璃基片上沉积的SnO2超微粒薄膜,研究其过程中各工艺参数对薄膜结构的影响及作用机理.结果表明, SnO2超微粒薄膜粒径随氧分压增加而增大;蒸镀时间的延长有助于SnO2的生成,也使薄膜发生晶化;而增加放电电压,则薄膜出现外延单晶生长趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贺黎明	华东理工大学物理系	19	60	4.0	7.0
2	陆慧	华东理工大学物理系	20	99	6.0	9.0
3	潘孝仁	华东理工大学物理系	4	28	3.0	4.0
4	王亮兴	华东理工大学物理系	1	9	1.0	1.0
5	滕月莉	华东理工大学物理系	1	9	1.0	1.0