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金刚石薄膜生成技术扩大了MEMS的应用范围
金刚石薄膜生成技术扩大了MEMS的应用范围
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摘要：
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磁透镜技术及其在沉积金刚石/类金刚石薄膜中的应用
磁透镜技术
金刚石沉积膜
类金刚石沉积膜
金刚石薄膜的研究进展
金刚石薄膜
合成方法
成核机理
影响因素
应用领域
金刚石涂层切削工具上的薄膜研削技术及其应用
化学气相沉积(CVD)
金刚石涂层切削工具
研削
Al-Si合金
人造金刚石合成中黑色低磁金刚石的研究
黑色人造金刚石
磁性
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期刊影响力
今日电子
主办单位：
电子工业出版社
美国国际数据集团
出版周期：
月刊
ISSN：
1004-9606
CN：
11-3227/TM
开本：
大16开
出版地：
北京海淀区中关村南大街乙12号天作国际中心1号楼A座1506-1508
邮发代号：
82-518
创刊时间：
1993
语种：
chi
出版文献量（篇）
4775
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3
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