应用射频磁控溅射方法制备声表面波器件用ZnO薄膜

• 作者: 章天金 顾豪爽
• 来源期刊: 湖北大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 氧化锌薄膜 声表面波 退火
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 所属期刊栏目: 物理学与电子技术
• 页码范围: 232-234
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.055
• 字数: 2092字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-2375.2002.03.012

摘要

采用RF平面磁控溅射技术在单晶Si(100)衬底上淀积了ZnO薄膜.对退火前后ZnO薄膜的结构特性、化学组份以及缺陷特性进行了详细的研究.结果表明:在纯氧中高温退火(600℃)是改善ZnO压电薄膜的结构特性、化学组份并减少缺陷的良好方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	章天金	湖北大学物理学与电子技术学院	82	321	11.0	14.0
2	顾豪爽	湖北大学物理学与电子技术学院	86	386	10.0	14.0