反应溅射中的溅射产额研究

• 作者: 何笑明 王宇 王敬义 陶甫廷
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 反应溅射 溅射产额 离子能量
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 所属期刊栏目: 薄膜技术
• 页码范围: 33-37,57
• 页数: 6页
• 分类号: TN305.92
• 字数: 3804字
• 语种: 中文

摘要

分析了溅射产额的影响因素,并建立了产额模型.该模型能反映各种宏观工艺参数,便于工程应用.对钛靶的计算结果表明与实验结果相符.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王敬义	华中科技大学电子科学与技术系	17	44	4.0	5.0
2	王宇	华中科技大学电子科学与技术系	19	134	6.0	11.0
3	陶甫廷	广西工学院计算机与电气工程系	17	58	5.0	5.0
4	何笑明	华中科技大学电子科学与技术系	8	82	4.0	8.0