不同状态的SiAl丝对混合集成电路键合点根部损伤的影响

• 作者: 李自学 王凤生
• 来源期刊: 电子元器件应用
• 学科: 工学
• 关键词: SiAl丝 混合集成电路 根部损伤 键合点
• 年，卷（期）: 2002,（5）
• 页码范围: 56-58
• 页数: 3页
• 分类号: TN45

摘要

键合点根部损伤是Al丝超声键合工艺中最常见的问题之一，严重的根部损伤不仅使焊点的键合强度降低，甚至会使键合点失效。本文通过优化键合机器的工艺参数，分析键合丝的组成成份和采取不同的退火条件，研究Al丝超声键合中键合点根部损伤的程度，为键合丝的选用提供依据，也为进一步提高Al丝超声键合强度做一些基础工作。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李自学		8	0	0.0	0.0
2	王凤生		2	0	0.0	0.0