硅尖阵列-敏感薄膜复合型阴极真空微电子压力传感器特性的测试

• 作者: 夏善红 陈绍凤
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 工学
• 关键词: 真空微电子 压力传感器 模拟测试 压力特性 测试
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 34-38
• 页数: 5页
• 分类号: TN783.95
• 字数: 2006字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2780.2002.01.006

摘要

封装、测试了硅尖阵列-敏感薄膜复合型阴极的真空微电子压力传感器,在计算机模拟计算的基础上,对封装好的真空微电子压力传感器进行了实物测试,得出实物测试场发射电流曲线(开启电压低,发射电流曲线与计算机模拟曲线一样,电压45V时发射电流可达到86mA,平均每个硅尖为21μA)、压力特性曲线(呈线性变化,与计算机模拟计算的曲线相近)及灵敏度数据.电压1.5V即可测试并且其压力特性成线性变化,灵敏度为0.3μA/kPa.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	夏善红		11	53	4.0	7.0
2	陈绍凤		4	9	2.0	2.0