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摘要:
利用强脉冲X射线对Si-SiO2界面进行了辐照,测量了界面态曲线和退火曲线.实验显示:经过强脉冲X射线对Si-SiO2界面进行的辐照,在Si-SiO2界面感生出新的界面态,感生界面态的增加与辐照剂量成正比,并且易出现饱和现象.总结出了感生界面态密度产额Dit随辐照剂量D变化的分布式,并定性分析了Dit随D变化的行为.退火实验表明;强脉冲X射线辐照感生出的界面态越多,退火时这些界面态就消除得越快.退火过程显示有滞后现象,即辐照剂量大的阈电压漂移,在退火后恢复的绝对值,要小于辐照剂量小的阈电压漂移.导出了阈电压漂移随退火时间变化的关系,定性解释了滞后现象.
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内容分析
关键词云
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文献信息
篇名 强脉冲X射线辐照在Si-SiO2中感生的界面态及退火消除
来源期刊 强激光与粒子束 学科 物理学
关键词 X射线 强辐射场 界面态
年,卷(期) 2002,(4) 所属期刊栏目 高功率激光与光学
研究方向 页码范围 521-525
页数 5页 分类号 O434.1
字数 4580字 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 杨志安 济南大学理学院 15 85 5.0 8.0
2 靳涛 中国科学院新疆物理研究所 11 6 2.0 2.0
3 李英俊 中国矿业大学基础系 1 2 1.0 1.0
4 姚育娟 10 48 4.0 6.0
5 罗尹虹 54 199 8.0 10.0
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研究主题发展历程
节点文献
X射线
强辐射场
界面态
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
强激光与粒子束
月刊
1001-4322
51-1311/O4
大16开
四川绵阳919-805信箱
62-76
1989
chi
出版文献量(篇)
9833
总下载数(次)
7
总被引数(次)
61664
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
论文1v1指导