物理气相沉积薄膜附着性的影响因素

• 作者: 张西鹏 李伟 范洪远
• 来源期刊: 新技术新工艺
• 学科: 工学
• 关键词: 物理气相沉积 薄膜 界面 附着性
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 所属期刊栏目: 材料与表面处理
• 页码范围: 42-45
• 页数: 4页
• 分类号: TB43
• 字数: 3022字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-5311.2003.02.020

摘要

综述了关于薄膜附着性能的研究进展,总结了影响附着性的主要因素,为改善薄膜质量提供参考依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李伟	四川大学制造学院材料成型及控制系	239	1303	18.0	26.0
2	范洪远	四川大学制造学院材料成型及控制系	78	463	10.0	17.0
3	张西鹏	四川大学制造学院材料成型及控制系	3	11	2.0	3.0