氧氛围下PLD法沉积纳米金刚石薄膜

• 作者: 丁书龙 欧阳钢 郭建 颜晓红
• 来源期刊: 湘潭大学自然科学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 脉冲激光沉积 纳米晶金刚石薄膜 生长机理
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 页码范围: 30-33
• 页数: 4页
• 分类号: O484.1

摘要

用固体脉冲激光(Nd∶YAG)烧蚀石墨靶在镜面αAl2O3(0001)上沉积纳米金刚石薄膜.用Raman谱、XRD衍射谱和SEM分别对薄膜的成键情况和表面形貌进行了分析.结果表明:显微Raman谱出现三个峰包:1 150 cm-1、1 350 cm-1、1 580 cm-1,分别对应着纳米金刚石特征峰、石墨的D峰和G峰;XRD衍射谱在41.42°出现金刚石的(100)衍射峰.实验结果表明,影响薄膜生长的关键参数主要是氧气压的大小和衬底的温度.在氧气压为6 Pa和衬底温度为550 ℃时,制备的薄膜质量较好.对用PLD法在氧气氛围下生长的金刚石薄膜的生长机理进行了分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	颜晓红	湘潭大学材料与光电物理学院	34	84	5.0	8.0
2	郭建	湘潭大学材料与光电物理学院	44	134	6.0	9.0
3	丁书龙	湘潭大学材料与光电物理学院	11	24	3.0	4.0
4	欧阳钢	湘潭大学材料与光电物理学院	3	9	2.0	3.0