有机衬底Zn-Sn-O透明导电膜的低温制备及特性

• 作者: 盖凌云 马洪磊 马瑾 黄树来
• 来源期刊: 中国科学G辑
• 学科: 物理学
• 关键词: 有机衬底 Zn-Sn-O透明导电膜 射频磁控溅射
• 年，卷（期）: 2003,（5）
• 所属期刊栏目: 物理学
• 页码范围: 448-453
• 页数: 6页
• 分类号: O4
• 字数: 2283字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-7275.2003.05.009

摘要

采用射频磁控溅射法在有机衬底PPA上低温制备出Zn-Sn-O透明导电膜, 并对薄膜的结构和光电性质进行了研究. 制备的薄膜为非晶结构, 薄膜与衬底有良好的附着性. 性能良好的有机衬底Zn-Sn-O透明导电膜的电阻率为1.3×10-2Ω·cm, 载流子浓度为4.4×1019 cm-3, Hall迁移率为12.4 cm2·V-1·s-1. 薄膜在可见光范围的平均透过率达到了82%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马瑾	山东大学物理与微电子学院	44	495	13.0	20.0
2	马洪磊	山东大学物理与微电子学院	58	681	15.0	23.0
3	黄树来	山东大学物理与微电子学院	5	72	4.0	5.0